[实用新型]一种气相沉积合成炉

权利要求书

1.一种气相沉积合成炉，其特征在于，包括以下组件：

1)封闭式炉体及用于支撑炉体的支撑架；

2)保温炉膛，设于炉体内部；

3)氢氧火焰燃烧器，设置于炉体的斜下部且燃烧器中心料管出口端伸入保温炉膛，且设有氢气、氧气和四氯化硅原料气的进气口；

4)石英基础杆，从炉体顶部垂直延伸入炉体内腔保温炉膛内，位于氢氧火焰燃烧器的中心料管出口端上，石英基础杆的底端面与氢氧火焰燃烧器出口端相对；

5)烟囱，设置于炉体顶部或炉体一侧，烟囱的烟道入口高于石英基础杆的底端面。

2.根据权利要求1所述的气相沉积合成炉，其特征在于，氢氧火焰燃烧器中心下料管出口端到石英基础杆底端的垂直距离为5-300mm。

3.根据权利要求2所述的气相沉积合成炉，其特征在于，所述氢氧火焰燃烧器的数量为1-6个。

4.根据权利要求3所述的气相沉积合成炉，其特征在于，所述氢氧火焰燃烧器与石英基础杆中心延长线的夹角为0-90°。

5.根据权利要求1或2所述的气相沉积合成炉，其特征在于，所述氢氧火焰燃烧器的数量为1个，所述氢氧火焰燃烧器与石英基础杆中心延长线的夹角为0°。

6.根据权利要求1或2所述的气相沉积合成炉，其特征在于，所述氢氧火焰燃烧器的数量为2-6个，均布在炉体的斜下部且与石英基础杆中心延长线的夹角为0-90°。

7.根据权利要求1或2所述的气相沉积合成炉，其特征在于，所述石英基础杆的材质为石英玻璃，其底端面为平面或圆球形或椭圆形，垂直卡位安装在带自动升降和旋转的车床上。