[实用新型]酸性高纯钼铝蚀刻液制备装置有效
| 申请号： | 201220049285.4 | 申请日： | 2012-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN202519334U | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 沈翠芬;戈士勇;盛建伟 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C23F1/26 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 酸性 高纯 蚀刻 制备 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种酸性高纯钼铝蚀刻液制备装置，其特征在于：所述制备装置包括磷酸储罐（1）、醋酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、精馏塔（4）、混合罐（5）、隔膜泵（6）、超滤装置（7）和成品罐（8）；
所述混合罐（5）进口连接有磷酸储罐（1）、醋酸储罐（2）和硝酸储罐（3），所述磷酸储罐（1）与混合罐（5）之间串联有精馏塔（4）；
所述混合罐（5）出口与超滤装置（7）进口相连，所述混合罐（5）出口与超滤装置（7）进口的连接管道上设置有隔膜泵（6）；所述超滤装置（7）出口与成品罐（8）进口相连。
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