[实用新型]测试三氯氧磷微量金属杂质的低温富集装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及分析测试用装置领域，尤其是涉及一种测试三氯氧磷微量金属杂质的低温富集装置。

背景技术

三氯氧磷是是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程中的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛用于光伏产业。三氯氧磷中的微量金属杂质是其中一个非常重要的指标，通常微量金属杂质的测定方法采用ICP法，需要将三氯氧磷主体的大部分除去，富集后采用ICP法对微量金属杂质进行测定，但是三氯氧磷属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒。在常温下遇到空气中的水就剧烈分解为磷酸和氯化氢，常规的高温去除主体组分的富集方法更不可行，会使样品中带有磷酸和氯化氢，进入ICP中进行测量会严重的损坏仪器，从而影响测量的精度。

现今为止，没有一种较快速、行之有效的富集三氯氧磷微量金属杂质的方法，因此，发明一种能够防止三氯氧磷分解又较为快速的富集方法，在检测其微量金属杂质中尤为重要。此类实用新型未见报道。本实用新型公开的就是一种三氯氧磷微量金属杂质低温下的富集装置。

实用新型内容

本实用新型实施方式提供一种测试三氯氧磷微量金属杂质的低温富集装置，可以解决目前三氯氧磷在富集过程中易分解为磷酸和氯化氢，会对仪器的损坏，而不能得到更为准确的测定微量金属杂质的结果的问题。

为解决上述问题本实用新型提供的技术方案如下：

本实用新型实施方式提供一种测试三氯氧磷微量金属杂质的低温富集装置，该装置包括：

石英三氯氧磷收集管、保温筒、样品池和样品固定器；其中，

所述石英三氯氧磷收集管设置在保温筒内；所述样品池设置在石英三氯氧磷收集内，所述样品池通过套设在其外面的样品固定器固定在所述石英三氯氧磷收集内。

上述富集装置中，所述石英三氯氧磷收集管上端设有磨口石英密封盖，石英三氯氧磷收集管中上部设有样品固定凹槽，所述样品固定器固定设置在所述样品固定凹槽内。

上述富集装置中，所述石英三氯氧磷收集管中上部设有的样品固定凹槽为三个，均匀分布在石英三氯氧磷收集管的内壁上。

上述富集装置中，所述石英三氯氧磷收集管的上端和磨口石英密封盖上各设有两个石英密封带钩，带钩上设有密封带。

上述富集装置中，所述保温筒内放置石英三氯氧磷收集管后，还设有充入液氮的容置空间，保温筒上设有扣装后使其内密封的密封盖。

由上述提供的技术方案可以看出，本实用新型实施方式提供的富集装置具有结构简单，操作简便，防止三氯氧磷在富集过程中分解，对测量仪器损害小，测定微量金属杂质结果精确可靠。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本实用新型实施例提供的富集装置的上部分放大示意图；

图2为本实用新型实施例提供的富集装置的示意图；

图中各标号对应的部件名称为：1-磨口石英密封盖；2-石英密封带钩；3-密封带，4-石英三氯氧磷收集管；5-样品固定器；6-样品池；7-固定凹槽；8-液氮；9-保温筒。

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

下面将结合附图对本实用新型实施例作进一步地详细描述。

本实用新型实施例提供一种测试三氯氧磷微量金属杂质的低温富集装置，如图1、2所示，该装置包括：石英三氯氧磷收集管、保温筒、样品池和样品固定器；

其中，石英三氯氧磷收集管设置在保温筒内；样品池设置在石英三氯氧磷收集内，样品池通过套设在其外面的样品固定器固定在所述石英三氯氧磷收集内。

上述富集装置中，石英三氯氧磷收集管上端设有磨口石英密封盖，石英三氯氧磷收集管中上部设有样品固定凹槽，所述样品固定器固定设置在所述样品固定凹槽内；石英三氯氧磷收集管中上部设有的样品固定凹槽为三个，均匀分布在石英三氯氧磷收集管的内壁上。

上述富集装置中，石英三氯氧磷收集管的上端和磨口石英密封盖上各设有两个石英密封带钩，带钩上设有密封带。