[发明专利]电子元件输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种电子元件输送装置。

背景技术

电子元件在生产加工过程中，具有多道不同的加工工序。目前运送晶圆的方法是先将电子元件放在容器内，然后人工搬运容器。电子元件生产过程中需要上升、下降，还需要水平移动。然而在实际产生中，是将大批电子元件放在容器内然后再人工运送，不仅劳动强度大，效率低，并且对工人危险性高。而且，人工操作还会增加损坏电子元件的风险，对于晶圆等易损电子元件更加危险。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可自动输送电子元件的电子元件输送装置。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：

电子元件输送装置，其特征在于，包括机架、用于夹持容器的夹持组件、升降组件以及移动组件，所述升降组件和移动组件安装在所述机架上，所述夹持组件可运动地设置，所述升降组件驱动所述夹持组件上下运动，所述移动组件驱动所述夹持组件水平运动。

优选地是，所述升降组件包括第一驱动件以及第一传动件，所述第一驱动件与所述夹持组件通过第一传动件连接，所述第一驱动件通过所述第一传动件驱动夹持组件升降运动。

优选地是，所述第一驱动件为第一电机，所述第一电机的转轴与所述第一传动件连接。

优选地是，所述第一传动件包括丝杠，所述丝杠包括丝杆和螺母，所述丝杆与所述第一电机的转轴连接，所述螺母固定在所述夹持组件上。

优选地是，所述第一传动件包括第一同步带和第一带轮，所述第一电机带动所述第一同步带在所述第一带轮上转动，所述夹持组件固定在所述第一同步带上。

优选地是，所述升降组件包括第一直线电机，所述第一直线电机的输出轴与所述夹持组件连接并驱动所述夹持组件升降运动。

优选地是，所述升降组件通过所述移动组件安装于机架上；所述夹持组件安装于所述升降组件上；所述移动组件驱动所述升降组件水平运动。

优选地是，所述移动组件包括第二驱动件，所述第二驱动件安装在所述机架上，所述第二驱动件驱动所述升降组件水平运动。

优选地是，所述移动组件还包括第一滑块，所述升降组件设置在所述第一滑块上，所述第一滑块滑动地设置在所述机架上，所述第一滑块和所述第二驱动件连接，所述第二驱动件驱动所述第一滑块在所述机架上滑动。

优选地是，所述移动组件还包括第二传动件，所述第二驱动件通过所述第二传动件驱动所述第一滑块移动。

优选地是，所述第二驱动件为第二电机，所述第二传动件包括主动轮和第二同步带，所述主动轮安装在所述第二电机的主动轴上，所述第一滑块连接在所述第二同步带上，所述第二同步带带动所述第一滑块沿所述机架水平滑动。

优选地是，所述第二传动件还包括两个张紧轮，两个张紧轮分别安装于所述主动轮两侧，所述第二同步带绕在所述张紧轮和主动轮上。

优选地是，所述第二传动件还包括两同步带压紧元件，所述同步带压紧元件安装在所述机架上且位于所述第一滑块两侧，所述第二同步带穿过所述同步带压紧元件且被所述同步带压紧元件压紧。

优选地是，所述同步带压紧元件包括两块压板，两块压板之间具有供所述第二同步带穿过的间隙。

优选地是，所述第二传动件包括主动轮和齿条，所述主动轮安装在所述第二驱动件的输出轴上，所述第一滑块连接在所述齿条上，所述齿条带动所述第一滑块沿所述机架滑动。

优选地是，所述第二驱动件包括第二直线电机，所述第二直线电机的输出轴连接在所述第一滑块上。

优选地是，所述夹持组件包括安装架和第三驱动件以及两个抓持件，所述安装架安装在所述升降组件上，所述第三驱动件设于所述安装架上，至少一个所述抓持件可往复运动地设置；所述第三驱动件驱动所述抓持件往复运动。

优选地是，所述抓持件为两块相对设置的L形板；至少一个所述L形板可运动地设置；所述第三驱动件驱动至少一个L形板运动。

优选地是，所述第三驱动件还包括第二弹簧，所述第三驱动件为单作用气缸，所述单作用气缸安装在所述安装架上且与所述抓持件连接，所述第二弹簧一端安装在所述安装架上、另一端连接在所述抓持件上；所述单作用气缸驱动所述抓持件运动而使所述第二弹簧产生弹性变形，产生弹性变形的第二弹簧使所述抓持件复位。

优选地是，所述单作用气缸为两个，每个单作用气缸驱动一个抓持件运动；所述第二弹簧为拉伸弹簧，每个拉伸弹簧与一个抓持件连接。