[发明专利]多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅领域，尤其是涉及多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构。属多晶硅制备技术领域。

背景技术

多晶硅是生产单晶硅的直接材料。高纯度多晶硅是光电转换电池、集成电路等半导体器件的基础材料。随着世界半导体工业的迅猛发展、超大规格集成电路的大量应用、光伏电池的大量需求，整个世界对多晶硅的需求量在逐年增加。

而生产多晶硅的过程中，还原炉等设备的尾气出口温度高达1000℃左右，且具有高温腐蚀性，为了把该温度降低到可以使用，通过U型多晶硅高温尾气热交换器来实现。通常都是在热交换器的高温腐蚀尾气气体的入口处焊接金属防冲板，该结构无法控制气体的流速和分布，且运行一段时间后，金属防冲板会被腐蚀烂掉，气体就会直接冲击换热管束，会在换热管表面产生无定型硅，从而影响换热效果轻则停炉拆开换热器更换管束，重则腐蚀掉换热管，使物料串通与水产生爆炸反应的严重事故。

多晶硅高温尾气热交换器作为多晶硅生产过程中的主要辅助设备，对多晶硅的生产起到极其重要的作用，而多晶硅高温尾气热交换器的高温尾气防冲件又是保护该设备的核心，目前的防冲件普遍存在如下问题：

1、金属防冲件无法耐高温腐蚀，寿命短；

2、金属防冲板无法调节气体的流速，使换热不充分；

3、气体无法均匀通过换热管表面，出口尾气温度过高。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种石墨碳的能耐高温和流速调节，以及能使气体均匀通过换热管表面的多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构。

本发明的目的是这样实现的：一种多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构，所述结构包括圆柱堵头、螺旋孔排管和固定连接件，圆柱堵头与螺旋孔排管一端的内孔螺纹连接，固定连接件与螺旋孔排管另一端的内孔螺纹连接，所述螺旋孔排管是在管壁开设多排螺旋孔。

本发明多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构，所述螺旋孔排管采用石墨材质。

本发明的有益效果是：

1、由于不同客户对高温尾气出口温度要求不同，通过调整圆柱堵头和螺旋孔排管的相对位置，可以控制高温尾气防冲件有效螺旋孔的数量，即可控制高温尾气进气的流速。以满足出口温度的要求。

2、针对原有金属防冲板易被腐蚀，无法长期使用，采用耐高温的石墨材质，解决了耐高温耐腐蚀的情况。

3、针对原有金属防冲板进气无法均匀分布的情况，采用石墨管，在其壁上开设多排螺旋孔，使气体均匀分布。

通过上述高温尾气防冲件结构调整，可以最大的保证U型多晶硅高温尾气热交换器的寿命，还能满足高温尾气的不同进气要求，实现高温尾气均匀分布换热，进而达到理想的换热效果。

附图说明

图1为本发明多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构示意图。

图2为圆柱堵头示意图。

图3为图2的俯视图。

图4为螺旋孔排管示意图。

图5为图4的俯视图。

图6为固定连接件示意图。

图7为图6的俯视图。

图中：圆柱堵头1、螺旋孔排管2、固定连接件3、螺旋孔4。

具体实施方式

参见图1，图1为本发明多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构示意图。由图1可以看出，本发明多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构，包括圆柱堵头1（见图2和图3）、螺旋孔排管2（见图4和图5）和固定连接件3（见图6和图7），圆柱堵头1与螺旋孔排管2一端的内孔螺纹连接，固定连接件3与螺旋孔排管2另一端的内孔螺纹连接，所述螺旋孔排管2是在管壁开设多排螺旋孔。

所述螺旋孔排管2采用石墨材质。