[发明专利]一种钛铝硅合金镀膜材料及其制备方法

权利要求书

1.一种钛铝硅合金镀膜材料，其特征在于：按照原子百分比，其组成为：钛5%～91%，铝5%～45%，硅1%～60%。

2.根据权利要求1所述的钛铝硅合金镀膜材料，其特征在于：按照原子百分比，钛为50%～90%，铝为8%～35%，硅为2%～20%。

3.根据权利要求2所述的钛铝硅合金镀膜材料，其特征在于：所述的钛铝硅合金镀膜材料为靶材和蒸发膜料。

4.权利要求1或2所述的钛铝硅合金镀膜材料的制备方法，包括以下步骤：

(1)称取Ti₃Al合金粉、AlSi粉、钛粉、铝粉和硅粉，在混料机中混合均匀；

(2)将混合均匀的Ti₃Al合金粉、AlSi粉、钛粉、铝粉和硅粉的混合粉末装在烧结模具中，将模具放入真空热压炉中，抽真空，真空度小于1Pa后开始升温，温度从室温升温到600~700℃，升温速率保持在2~10℃/分钟，热压炉压头的压力保持在5～10MPa；然后继续升温到800～1400℃，同时热压炉压头压力升高到15～20MPa，保温保压30～120分钟，然后开始降温，卸压，自然冷却到室温；

(3)去除真空，脱模，获得烧结成型的钛铝硅三元合金镀膜材料坯料。

5.根据权利要求4所述的钛铝硅合金镀膜材料的制备方法，其特征在于：将得到的钛铝硅三元合金镀膜材料坯料，进行机加工或破碎加工，得到靶材或蒸发膜料。

6.根据权利要求4所述的钛铝硅合金镀膜材料的制备方法，其特征在于：所述Ti₃Al合金粉、AlSi粉、钛粉、铝粉和硅粉的粒径均为-200目，纯度均大于99w%。

7.根据权利要求6所述的钛铝硅合金镀膜材料的制备方法，其特征在于：在混料机中混合的时间为12～48小时。

8.根据权利要求7所述的钛铝硅合金镀膜材料的制备方法，其特征在于：在混料机中混合过程中，在混料筒中充入氢气或氩气。