[发明专利]基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的相位检测装置有效
| 申请号： | 201210576046.9 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103063918A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;崔焱 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R25/04 | 分类号： | G01R25/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210033 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 固支梁 电容 式微 机械 微波 功率 传感器 相位 检测 装置 | ||
1.一种基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置，其特征在于，该检测装置包括
固支梁电容式微机械微波功率传感器、功率合成器、可调数字式移相器以及电容-数字转换器；其中，
将与待测信号（Vx）频率相同的参考微波信号（Vref）加到功率合成器的输入端口一（10），将待测微波信号（Vx）加到可调数字式移相器的输入端口（7），经过可调数字式移相器（8）移相后加到功率合成器的输入端口二（11）；这两路信号经过功率合成器（12）进行矢量合成后到达功率合成器的输出端口（13），然后加在固支梁电容式微机械微波功率传感器的输入端口（14）。
2.根据权利要求1所述的基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置，其特征在于，固支梁电容式微机械微波功率传感器包括共面波导传输线（1）、共面波导传输线的地平面（2）、薄膜（3）、固支梁（4）、固支梁的下电极（5）和衬底（6）；其中，
共面波导传输线（1）设在衬底（6）的表面，共面波导传输线的地平面（2）设在共面波导传输线（1）上，与共面波导传输线（1）相对设置且绝缘的固支梁（4）、共面波导传输线（1）与固支梁（4）之间保持有间距，设在共面波导传输线（1）上且与固支粱（4）相对设置的固支梁的下电极（5），覆盖在固支粱（4）下电极（5）表面的薄膜（3）。
3.根据权利要求2所述的基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置，其特征在于，衬底（6）为砷化镓衬底，薄膜（3）为氮化硅薄膜（3）。
4.根据权利要求2所述的基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置，其特征在于，电容-数字转换器的测试端口一（16）和测试端口二（17）分别接在固支梁的下电极（5）和共面波导传输线的地平面（2）。
5.根据权利要求1所述的基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置，其特征在于，待测信号（Vx）的原相位是一个唯一的值。
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