[发明专利]基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的频率检测装置

权利要求书

1.一种基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，该检测装置包括

功率分配器、传输线移相器、可调数字式移相器、功率合成器以及固支梁电容式微机械微波功率传感器；其中，

功率分配器用于接收待测信号（V_x），并将待测信号（V_x）等分为功率、频率和相位均相同的两路信号，即第一路信号（V_x1）和第二路信号（V_x2），第一路信号（V_x1）通过传输线移相器，第二路信号（V_x2）将通过可调数字式移相器，这两路信号均被搬移一定的相位角度后加到功率合成器的输入端口进行矢量合成，进行矢量合成后信号加在固支梁电容式微机械微波功率传感器的输入端口上。

2.根据权利要求1所述的基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，固支梁电容式微机械微波功率传感器包括共面波导传输线（1）、共面波导传输线的地平面（2）、薄膜（3）、固支梁（4）、固支梁的下电极（5）和衬底（6）；其中，

共面波导传输线（1）设在衬底（6）的表面，共面波导传输线的地平面（2）设在共面波导传输线（1）上，固支梁（4）与共面波导传输线（1）相对设置且绝缘、共面波导传输线（1）与固支梁（4）之间保持有间距，设在共面波导传输线（1）上且与固支粱（4）相对设置的固支梁的下电极（5），覆盖在固支粱的下电极（5）表面的薄膜（3）。

3.根据权利要求2所述的基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，衬底（6）为砷化镓衬底，薄膜（3）为氮化硅薄膜（3）。

4.根据权利要求1所述的基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，通过可调数字式移相器，在第二路信号（V_x2）的相位的基础上增加一个被精确控制的额外的附加相位具有特定中心频率(f₀）的传输线移相器则使第一路信号（V_x1）搬移了一个与其长度ΔL有关的相位角度ΔL即二分之一波长，是一个唯一的值。

5.根据权利要求4所述的基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，

由通过了传输线移相器的信号频率、传输线长度和移相度三者之间的关系，即

便可以得知待测信号（V_x）的频率f，f₀为传输线移相器的特定中心频率，c为光速，ε_er为传输线移相器的有效介电常数，ΔL即二分之一波长。