[发明专利]物品保管设备以及物品保管方法

权利要求书

1.一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，以及控制上述运送装置的动作的控制装置，其特征在于，

还具备检测惰性气体相对于上述多个收纳部的供给状态的供给状态检测装置，

上述控制装置构成为，

基于上述供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定，区别出判定为未恰当地供给惰性气体的禁止收纳部和除此之外的许可收纳部，对上述多个收纳部进行管理，并且

执行退避用运送处理，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而从上述许可收纳部切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向被作为上述许可收纳部进行管理的上述收纳部运送。

2.如权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，

上述多个收纳部被区分成多个区域，

作为上述供给状态检测装置，设有进行惰性气体相对于上述多个区域的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置，

上述控制装置构成为，基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息进行上述供给状态判定，将属于判定为未恰当地供给惰性气体的上述区域的上述收纳部全部作为上述禁止收纳部进行管理。

3.如权利要求2所述的物品保管设备，其特征在于，

上述惰性气体供给路径具备：将惰性气体向上述多个区域的每一个分支供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分，

设有压力调整装置，其设在上述区域用供给部分和多个上述收纳部用供给部分的连接部位的每一部位，调整上述收纳部用供给部分的惰性气体的压力，

作为上述区域用供给状态检测装置，设有检测上述多个收纳部用供给部分的每一部分的惰性气体的压力的压力检测装置，

上述控制装置构成为，作为上述供给状态判定，进行基于上述压力检测装置的检测信息，相对于被上述压力调整装置调整后的压力是否由上述压力检测装置检测出异常的压力的判定，将属于与检测出异常的压力的上述区域用供给部分相对应的上述区域的上述收纳部全部作为上述禁止收纳部进行管理。

4.如权利要求2或3所述的物品保管设备，其特征在于，

上述惰性气体供给路径具备将惰性气体向上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分，

设有流量调整装置和中转装置，流量调整装置设在上述收纳部用供给部分和上述排放部的连接部位的每一部位、调整向上述排放部供给的惰性气体的流量，中转装置中转上述控制装置以及属于上述区域的多个上述流量调整装置之间的通信，

作为上述区域用供给状态检测装置，设有检测上述中转装置的异常的中转异常检测装置，

上述控制装置构成为，

经由上述中转装置控制上述流量调整装置的动作，并且

作为上述供给状态判定，进行基于上述中转异常检测装置的检测信息，是否由上述中转异常检测装置检测出异常的判定，将属于与检测出异常的上述中转装置相对应的上述区域的上述收纳部全部作为上述禁止收纳部进行管理。

5.如权利要求1至3中任一项所述的物品保管设备，其特征在于，

作为上述供给状态检测装置，设有检测惰性气体相对于上述多个收纳部的每一个的供给状态的收纳部用供给状态检测装置，

上述控制装置构成为，基于上述收纳部用供给状态检测装置的检测信息进行上述供给状态判定，将判定为未恰当地供给惰性气体的上述收纳部作为上述禁止收纳部进行管理。