[发明专利]双串接圆环结构的太赫兹波偏振分束器

权利要求书

1.一种双串接圆环结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于包括信号输入端（1）、第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3）、基体（4）、第一直波导（5）、第二直波导（6）、第一串接圆环形波导（7）、第二串接圆环形波导（8）、串接菱形波导（9）；基体（4）上设有第一直波导（5）、第二直波导（6）、第一串接圆环形波导（7）、第二串接圆环形波导（8）、串接菱形波导（9），第一直波导（5）与第二直波导（6）之间依次设有第一串接圆环形波导（7）、串接菱形波导（9）和第二串接圆环形波导（8），第一串接圆环形波导（7）和第二串接圆环形波导（8）均由三个圆环形波导（10）顺次连接而成，串接菱形波导（9）由左半个菱形波导（11）、两个菱形波导（12）、右半个菱形波导（13）顺次连接组成；太赫兹波信号从信号输入端（1）输入，TE波经第一直波导（5）直接从第一信号输出端（2）输出，通过第一串接圆环形波导（7）、串接菱形波导（9）、第二串接圆环形波导（8）之间的耦合作用，TM波经第二直波导从第二信号输出端（3）输出，达到分束的目的。

2.根据权利要求1所述的一种双串接圆环结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的基体（4）的材料为二氧化硅，基体（4）的长度为2200μm~2400μm，宽度为1800μm~2000μm，厚度为300μm~400μm；所述的波导的材料为硅，波导厚度均为20μm~40μm。

3.根据权利要求1所述的一种双串接圆环结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第一直波导（5）和第二直波导（6）的长度分别为2200μm~2400μm，1900μm~2000μm；第一直波导（5）和第二直波导（6）的宽度均为50μm~80μm。

4.根据权利要求1所述的一种双串接圆环结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的圆环形波导（10）的宽度为50μm~80μm，圆环形波导（10）的外圆半径为300μm~400μm。

5.根据权利要求1所述的一种双串接圆环结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的左半个菱形波导（11）的尺寸与菱形波导（12）的右半部分尺寸相同；右半个菱形波导（13）的尺寸与菱形波导（12）的左半部分尺寸相同；所述的菱形波导（12）的长度为600μm~800μm，宽度为150μm~200μm。

6.根据权利要求1所述的一种双串接圆环结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第一直波导（5）与第一串接圆环形波导（7）之间的间隔距离为10μm~20μm；第二直波导（6）与第二串接圆环形波导（8）之间的间隔距离为10μm~20μm。

7.根据权利要求1所述的一种双串接圆环结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的串接菱形波导（9）和第一串接圆环形波导（7）之间的间隔距离与串接菱形波导（9）和第二串接圆环形波导（7）之间的间隔距离相等，均为5μm~10μm。