[发明专利]用于在抛光工艺期间再循环泥浆材料的系统

权利要求书

1.一种用于再循环来自抛光组件的预选的泥浆材料的系统，所述系统包含：

所述抛光组件，其包含：

抛光器，其具有入口和排水出口；和

泥浆存储罐，其经配置从而将包含预选材料的泥浆供给到所述抛光器的所述入口；和

再循环组件，其包含：

错流过滤器，其包含入口，所述入口经配置从而从所述抛光器的所述排水出口接收包含所述预选材料的废料泥浆，其中所述错流过滤器经配置从而浓缩在所述错流过滤器的出口提供的泥浆中的所述预选材料；

密度计，其经配置从而测量所述错流过滤器的出口泥浆中所述预选材料的浓度；

阀门，其被联接到所述错流过滤器的出口，并且经配置从而供给所述泥浆存储罐；和

控制器，其被联接到所述密度计和所述阀门，其中所述控制器经配置从而当所述预选材料的浓度达到第一预选浓度阈值时打开所述阀门。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述错流过滤器包含多级膜过滤器。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述错流过滤器经配置从而在所述错流过滤器的废料出口除去所述废料泥浆的低于预选颗粒尺寸的部分。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述密度计经配置从而测量来自所述错流过滤器的出口泥浆的共振频率。

5.根据权利要求4所述的系统，其中所述密度计经配置从而测量U形管中的来自所述错流过滤器的所述出口泥浆的所述共振频率。

6.根据权利要求1所述的系统，其进一步包含：

第一泵，其经配置从而接收所述错流过滤器的所述出口泥浆；

浓缩存储罐，其被联接到所述第一泵，并且经配置从而存储所述错流过滤器的所述出口泥浆；

第二泵，其被联接到所述浓缩存储罐；

第二阀门，其被联接在所述泵与所述泥浆存储罐之间；

第二密度计，其经配置从而测量所述泥浆存储罐中所述预选材料的浓度；

其中所述控制器经配置从而当由所述第二密度计测量的所述预选材料的浓度低于第二预选浓度阈值时打开所述第二阀门。

7.根据权利要求6所述的系统，其中所述第二预选浓度阈值大约是百分之五，并且其中所述第一预选浓度阈值大约是百分之十。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一预选浓度阈值大约是百分之十。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述预选材料包括预选稀土氧化物。

10.根据权利要求9所述的系统，其中所述预选稀土氧化物包含二氧化铈。

11.根据权利要求1所述的系统，其进一步包含位于所述抛光器和所述错流过滤器之间的缓冲管，其中所述缓冲管经配置从而除去所述废料泥浆中所述预选材料的浓度低于第三预选阈值的部分。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述抛光组件进一步地包含泵，其被联接到所述抛光器并且经配置从而将部分所述泥浆从所述抛光器引导到所述泥浆存储罐。

13.根据权利要求1所述的系统，其中所述错流过滤器包含多个膜片。

14.根据权利要求13所述的系统，其中所述多个膜片每个都包含伸长管式形状。

15.根据权利要求14所述的系统，其中所述多个膜片每个都包含沿着所述伸长管式形状的侧壁的开口。

16.根据权利要求15所述的系统：

其中第一泥浆经配置从而从所述伸长管式形状的膜片的末端流出；

其中第二泥浆经配置从而从所述伸长管式形状的膜片的所述侧壁流出；

其中所述第一泥浆中所述预选材料的浓度大于所述第二泥浆中所述预选材料的浓度。

17.根据权利要求15所述的系统，其中所述预选材料的颗粒尺寸大于所述开口的尺寸。