[发明专利]一种电容式风速风向传感器

权利要求书

1.一种电容式风速风向传感器，其特征在于，其包括衬底（1）、设置在衬底（1）表面的绝缘体（2）、分别设在绝缘体（2）表面且相距一定距离的的第一电容底电极（3）和第二电容底电极（4）、与绝缘体（2）相连的支撑锚区（5）、与支撑锚区（5）相连的弹性膜（6）、与弹性膜（6）相连的刚性薄板（7），和设置在刚性薄板（7）上的风杆（8），

风杆（8）位于刚性薄板（7）中心，第一电容底电极（3）和第二电容底电极（4）相对刚性薄板（7）中心对称放置，且第一电容底电极（3）和第二电容底电极（4）构成差分电容对。

2.根据权利要求1所述的电容式风速风向传感器，其特征在于，刚性薄板（7）周围通过弹性膜（6）与支撑锚区（5）相连，弹性膜（6）和刚性薄板（7）设置成封闭结构。

3.根据权利要求1或2所述的电容式风速风向传感器，其特征在于，刚性薄板（7）中心对称结构，该风向传感器还包括相对于刚性薄板（7）中心对称设置的第三底电容电极和第四底电容电极，第一电容底电极（3）、第二电容底电极（4）、第三底电容电极和第四底电容电极关于刚性薄板的中心对称设置。

4.根据权利要求3所述的电容式风速风向传感器，其特征在于，刚性薄板（7）为正多边形或圆形的中心对称结构。