[发明专利]一种晶片升降销装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体晶片刻蚀领域，具体涉及一种晶片升降销装置。

背景技术

现有技术中，在晶片刻蚀时，如图1所示，所采用的晶片升降机中没有气体调节部件，如果进入气缸1’中的压缩气体不稳定，造成升降销4’移动过快或过慢，从而造成了像晶片掉落或晶片对准失败等严重的问题。

发明内容

本发明提供了一种晶片升降销装置，该装置可以通过调节进气管及出气管气流量，从而保证外部机械手能够准确抓取晶片，防止晶片掉落。

为了达到上述目的，本发明通过以下技术方案实现：

一种晶片升降销装置，包含气缸及一对感应器，一对所述的感应器分别上下交错安装在气缸的两侧，其特点是，还包含：

移动轴，所述的移动轴一端设置在气缸内，其另一端延伸设置在气缸外部；

升降销，所述的升降销安装在移动轴的顶部；

进气管、出气管，所述的进气管、出气管分别与气缸相连通；

分别对应安装在进气管、出气管上的调节部件，所述的调节部件用于调节进气管及出气管的气流量。

所述的调节部件为针阀。

本发明一种晶片升降销装置与现有技术相比具有以下优点：

本发明由于分别在进、出气管安装有针阀，可以通过调节进气管及出气管气流量，从而保证外部机械手能够准确抓取晶片，防止晶片掉落。

附图说明

图1为现有技术中晶片升降销气缸的结构示意图；

图2为本发明一种晶片升降销装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。

如图2所示，一种晶片升降销装置，包含气缸1及一对感应器2，一对所述的感应器2分别上下交错安装在气缸1的两侧，移动轴3，所述的移动轴3一端设置在气缸1内，其另一端延伸设置在气缸1外部，移动轴作升降移动时，当下部的感应器2先检测到移动轴3时，则表示移动轴3上升，当上部的感应器2先检测到移动轴3时，则表示移动轴3下降；升降销4，所述的升降销4安装在移动轴3的顶部；进气管5、出气管6，所述的进气管5、出气管6分别与气缸1相连通；分别对应安装在进气管5、出气管6上的调节部件，所述的调节部件用于调节进气管5及出气管6的气流量，该调节部件为针阀7，通过调节针阀7，控制气流量，改变升降销4移动速度，实践表明，现有技术的晶片升降销气缸，在出现气流不稳定时，升降销4升降速度太快，故而调节针阀7，使进气管及出气管的气流量减小，降低升降销4移动速度。

综上所述，本发明一种晶片升降销装置，该装置可以通过调节进气管及出气管气流量，从而保证外部机械手能够准确抓取晶片，防止晶片掉落。

尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。