[发明专利]一种彩色Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201210553963.5 | 申请日： | 2012-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103014631A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 赵旭;牛莎莎;宋利伟;华丽芳;陈伟 | 申请（专利权）人： | 河北师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/06;C04B35/624;C04B35/36 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 050024 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 彩色 pr sr sub 0.1 ca 0.9 mn 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种彩色Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
(1)采用溶胶-凝胶法制备Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7靶材，将将纯度为99.9%的Pr6O11、CaCO3、SrCO3和Mn(NO3)2按摩尔比0.17：0.2：1.8：2称量后加入去离子水中，滴加HNO3使其溶解，随后加入适量的络合剂柠檬酸和乙二醇，进行充分搅拌，完全溶解后，放入水浴箱中，在80℃下水浴12小时；
(2)将水浴后的凝胶放入干燥箱中，依次在100℃、200℃下分别干燥12、24小时，经研磨后在箱式炉中500℃下烧结5小时，再次研磨后，在 900℃下烧结10小时，再次研磨、压制成片，在1400℃下煅烧10-58小时，制得Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7靶材；
(3) 选用市场销售的Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片，依次放到丙酮、无水乙醇、去离子水中进行超声波清洗，晾干后装入脉冲激光沉积系统(PLD-450a型)的真空腔内；
(4)打开真空系统，当真空度低于5Pa后，打开高真空系统，最终真空度达到10-4Pa，随后将基片温度升至750℃，调节氧压至20Pa；
(5) 将靶的自转速度调整到2.5转/分钟，打开电离开关，调节电压为0.1kv，调节基片和靶的距离为5cm，设置激光器频率为1Hz，电压为20kv(能量约为300mJ)，打开激光器，开始沉积薄膜，每连续沉积300次，间隔5分钟，再进行下一次脉冲激光沉积，脉冲沉积总次数300-9000次，最后原位退火10分钟，关闭激光器、电离和靶自转，使基片温度在原气氛下降到室温，得到彩色的Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于沉积薄膜过程中总激光脉冲数为300-9000次。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于沉积薄膜过程中总激光脉冲数为600次。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于沉积薄膜过程中总激光脉冲数为1050次。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于沉积薄膜过程中总激光脉冲数为1500次。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于沉积薄膜过程中总激光脉冲数为9000次。
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