[发明专利]一种铌旋转靶材铸锭的锻造方法

权利要求书

1.一种铌旋转靶材铸锭的锻造方法，包括以下步骤：

将铌铸锭第一次预热，在预热后的铌铸锭表面涂覆第一抗氧化涂层；

将涂覆第一抗氧化涂层后的铌铸锭进行第一次热锻，将第一次热锻后的铌铸锭进行第一次热处理；

将第一次热处理后的铌铸锭进行第二次热锻，将第二次热锻后的铌铸锭进行第二次热处理。

2.根据权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，所述第一次预热的温度为150℃~250℃。

3.根据权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，所述第一抗氧化涂层为玻璃粉，所述抗氧化涂层的厚度为1mm~1.5mm。

4.根据权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，将涂覆第一抗氧化涂层后的铌铸锭进行第一次热锻的步骤具体为：

将涂覆第一抗氧化涂层的铌铸锭第一次加热至365℃~472℃，第一次保温2h~4.5h，将保温后的铌铸锭进行第一次镦粗和第一次拔长，第一次镦粗和第一次拔长的总加工率为40%~65%。

5.根据权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，所述第一次热锻之后与所述第一次热处理之前还包括：

将第一次热锻后的铌铸锭进行第一次酸洗。

6.根据权利要求5所述的锻造方法，其特征在于，所述第一次酸洗的酸液为盐酸、氢氟酸和硫酸的混合溶液，所述酸洗的时间为5min~10min。

7.根据权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，所述第一热处理的温度为930℃~1300℃，所述第一次热处理的时间为60min~100min。

8.根据权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，所述第一次热处理之后与所述第二次热锻之前还包括：

将第一次热处理后的铌铸锭进行第二次预热，在第二次预热后的铌铸锭表面涂覆第二抗氧化涂层。

9.根据权利要求8所述的锻造方法，其特征在于，所述第二次热锻之后与所述第二次热处理之前还包括：

将第二次热锻后的铌铸锭进行第二次酸洗。

10.根据权利要求1或9所述的锻造方法，其特征在于，将第一次热处理后的铌铸锭进行第二次热锻的步骤具体为：

将第一次热处理后的铌铸锭第二次加热至365℃~472℃，第二次保温2h~4.5h，将第二次保温后的铌铸锭进行第二次镦粗和第二次拔长，所述第二次镦粗的加工率为35%~50%。