[发明专利]使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法无效

专利信息
申请号: 201210546784.9 申请日: 2012-12-14
公开(公告)号: CN102967821A 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: 刘杰;牛勇;徐惠;张志勇;施瑾;汤雪飞;叶建明 申请(专利权)人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 周耀君
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 使用 测试 数字 通道 作为 芯片 电源 系统 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及集成电路芯片测试技术领域,特别涉及一种使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法。

背景技术

集成电路芯片(integrated circuit chip,IC芯片)的电性测试在半导体制作工艺(semiconductor process)的各阶段中都是相当重要的。每一个IC芯片都必须接受测试以确保其电性功能(electrical function)。

在集成电路芯片的测试过程中,使用的测试设备主要包括:测试机(Automatic Test Equipment,ATE)、探针台(prober)及handler。其中,测试机是用于晶圆和其他成品测试的一种专用设备,可以实现各种电性参数的测量,以检测集成电路芯片的电性功能。探针台是集成电路制造过程中用于晶圆测试的一种设备,主要完成晶圆的固定步距移动。handler也是集成电路制造过程中用于晶圆测试的一种设备,主要用于成品的测试。具体的,Handler用于测试成品,prober用于测试晶圆。

通常的,所述测试机包括电源输出端口及多个数字端口等功能端口。当进行集成电路芯片测试时,所述电源输出端口与测试芯片的电源管脚相连,用以向所述测试芯片提供电源。通常的,所述电源输出端口的输出信号都能够满足集成电路芯片测试的要求。但是,电源输出端口的输出信号具有较长的时延,通常该时延是一个毫秒级别的量,当对于集成电路芯片测试的要求比较严时,特别的,当面对测试芯片要求电源的上电在微秒级别并测试其功能或参数时,该电源输出端口的输出信号将不能满足集成电路芯片测试的要求。

因此,本领域技术人员一直在试图解决这一难题,即如何提供一延迟时间在微秒级别的输出电源。

发明内容

本发明的目的在于提供一种使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法,以解决现有的测试芯片电源供给过程中,电源输出信号的延时较长的问题。

为解决上述技术问题,本发明提供一种使用测试机数字通道作为芯片电源的系统,所述使用测试机数字通道作为芯片电源的系统包括:测试机及电流转换器,其中,所述测试机包括数字端口,所述数字端口与所述电流转换器连接。

可选的,在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统中,所述测试机包括多个数字端口,所述电流转换器的数量为多个,其中,每个数字端口与一个或者多个电流转换器连接。

可选的,在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统中,所述数字端口输出数字信号,所述数字信号为电压信号。

可选的,在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统中,所述电流转换器将系统中的电流信号放大,并输出放大后的电流信号。

可选的,在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统中,所述电流转换器输出的放大后的电流信号的电流强度大于测试芯片要求的电流强度。

本发明还提供一种上述使用测试机数字通道作为芯片电源的系统实现的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法,所述使用测试机数字通道作为芯片电源的方法包括:

所述数字端口向所述电流转换器输出数字信号,所述数字信号为电压信号;

所述电流转换器对系统中的电流信号进行转换,并输出转换后的电流信号。

可选的,在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法中,所述电流转换器对系统中的电流信号进行放大,并输出放大后的电流信号。

可选的,在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法中,所述电流转换器输出的放大后的电流信号的电流强度大于测试芯片要求的电流强度。

在本发明提供的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法中,通过数字端口及电流转换器的共同作用向测试芯片提供电源,由此可得到基本毫无延迟,或者说延迟控制在微秒级别的电源输出信号,从而在集成电路芯片测试过程中,对于电源的供给满足了要求。

附图说明

图1是本发明实施例的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统的框结构示意图;

图2是本发明实施例的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法的流程示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

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