[发明专利]一种Zn/ZnO复合发光材料的制备方法无效
| 申请号： | 201210538938.X | 申请日： | 2013-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103013500A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 王顺利;李培刚;沈静琴;唐为华 | 申请（专利权）人： | 浙江理工大学 |
| 主分类号： | C09K11/54 | 分类号： | C09K11/54 |
| 代理公司： | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人： | 陈小良 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 zn zno 复合 发光 材料 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种Zn/ZnO复合发光材料的制备方法，其特征在于包括下述步骤：
（1）以ZnO粉为源材料，置于石英舟中，石英舟位于钨灯丝下方1cm处，在离源材料下方2cm处放置镀金硅衬底；然后把石英舟置于炉中，并将炉进行密封；
（2）对炉内进行抽真空，直到炉内气压达到-0.1MPa，关闭抽真空装置，通入惰性气体氩气，当炉内压力达到一个大气压时，开启抽真空装置，再次将炉内气压抽至-0.1MPa；
上述抽真空过程至少重复操作4次；
（3）完成步骤（2），抽完真空后，对炉进行加热，直至升温至950～1050°C，通入100sccm氢气，保温5～10分钟；
（4）然后将炉自然降温到室温，取出衬底，衬底上所得产物为Zn/ZnO复合发光材料。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于步骤（1）中所述的炉为热丝化学气相沉积炉。
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