[发明专利]一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪

权利要求书

1.一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，其特征在于包括：

a. 光源；

b. 准直透镜；

c. 微镜阵列；

d. 分光成像系统；

e. 单探测器。

2.根据权利要求1所述的一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，其特征在于：将微镜阵列划分为Ⅰ，Ⅱ两个区，分别实现不同的功能——在微镜阵列Ⅰ区，通过对微镜阵列Ⅰ区进行编程控制，控制一条狭缝宽度的微镜单元为开的状态（狭缝宽度与高度通过控制微镜单元打开的行数与列数调节），其余为关的状态从而构造一条狭缝，作为光谱仪器的入射狭缝；在微镜阵列Ⅱ区，编码数控微镜阵列单元开关，进行光谱的调制。

3.根据权利要求1所述的一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，其特征在于：光源出射的光经过准直透镜入射到微镜阵列Ⅰ区，光通过微镜阵列Ⅰ区的入射狭缝后到达固定闪耀光栅进行分光，经第一成像透镜后到达微镜阵列Ⅱ区进行光谱调制，调制后经第二成像透镜到达单点探测器完成光谱的探测。

4.根据权利要求1所述的一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，其特征在于：通过软件编程制作光谱仪器入射狭缝，入射狭缝位置、宽度、高度均可通过编程进行设置。

5.根据权利要求1所述的一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，其特征在于：入射狭缝是影响光谱仪器光学分辨率的主要因素之一，入射狭缝的编程可调性，使得光谱仪的光学分辨率同时具有了编程可调性。

6.根据权利要求1所述的一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，其特征在于：在微镜阵列Ⅱ区可以数控微镜阵列完成光谱的逐次扫描测量和组合测量两种模式。

7.根据权利要求1所述的一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，其特征在于：光谱仪器象元分辨率受微镜阵列上调制狭缝像的相邻微镜组中心距的影响，微镜阵列Ⅱ区,光谱仪的微镜阵列上调制狭缝像的相邻微镜组中心距可通过数控微镜阵列进行调节，因此光谱仪的象元分辨率也具有编程可调性。

8.根据权利要求1所述的一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，其特征在于：微镜阵列分区复用，分别完成入射狭缝的功能与光谱调制的功能，光谱仪结构更加紧凑，集成度更高，易于光谱仪的微型化，同时无可移动部件，提高了光谱仪的稳定性与可靠性。

9.根据权利要求1所述的一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，其特征在于：对微镜阵列进行分区复用，利用微镜阵列完成光谱仪器入射狭缝的软件调节，无需进行狭缝的加工，使得狭缝的制作简单易行，狭缝精度高，提高微镜阵列利用率的同时，降低了仪器的成本。