[发明专利]一种复合掩模板

权利要求书

1.一种复合掩模板，其特征在于，至少包括两层相互贴紧联接平板结构，至少一层为金属层结构，至少一层为非金属层结构，所述金属层结构与所述非金属层结构之间贴紧结合，所述复合模板上设置有贯通开口。

2.根据权利要求1所述的复合掩模板，其特征在于，所述贯通开口为利用激光切割形成的贯通开口结构。

3.根据权利要求2所述的复合掩模板，其特征在于，所述贯通开口为利用紫外激光切割形成的贯通开口结构。

4.根据权利要求1所述的复合掩模板，其特征在于，所述复合掩模板为三层夹心结构，即包括两层金属层结构和置于两层所述金属层结构之间的一层非金属层结构。

5.根据权利要求1、4所述的复合掩模板，其特征在于，所述非金属层结构厚度大于所述金属层结构厚度。

6.根据权利要求1、2、5所述的复合掩模板，其特征在于，所述非金属层结构为聚合物层结构。

7.根据权利要求6所述的复合掩模板，其特征在于，所述聚合物层结构为耐酸碱性强、柔韧性强的塑料材料层结构。

8.根据权利要求1、4所述的复合掩模板，其特征在于，所述金属层结构为镍或镍基合金层结构。

9.根据权利要求1、4、8所述的复合掩模板，其特征在于，所述金属层为镀层或涂层。

10.根据权利要求1所述的复合掩模板，其特征在于，所述金属层是与非金属层相渗透的渗透层或是包含与非金属层相渗透的渗透层的金属层结构。