[发明专利]废液处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及将含有硅屑的废液分离成硅屑和净水（水）的废液处理装置。

背景技术

在硅器件的制造中，存在下述工序等：切断硅锭形成硅晶片的工序；研磨硅晶片的工序；以及在硅晶片的表面呈格子状排列的大量区域形成IC（Integrated Circuit：集成电路）、LSI（Large Scale Integration：大规模集成电路）等电路，沿预定的间隔道（切断线）切断各区域从而形成一个个硅芯片。在这些工序中，例如为了冷却切削刀具、加工点或研磨部分等，或者为了冲洗硅屑，使用了净水（水）。

近些年，从净水（水）的再利用、硅的再利用的观点出发，寻求将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅的净水（水）的技术。硅屑是微细的粒子，以悬浊的状态包含于废液中。作为这种现有技术，已知进行过滤或离心分离的物理方法和使用药品的化学方法（例如，参照专利文献1）。

专利文献1：日本特开平8-164304号公报

但是，在上述那样的物理方法中，存在着过滤时发生网孔阻塞，或本来硅离子就能通过的问题。特别是在离心分离法中，存在与净水（水）相比硅粒子的浓度过低而使离心分离机的效率低的情况。而且，在如上所述的化学方法中，由于使用了药品，所以存在难以再利用净水（水）的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种废液处理装置，能够将含有硅屑的废液有效且以容易再利用的状态将硅屑和净水（水）分离开。

为达成上述目的，根据本发明，提供一种废液处理装置，所述废液处理装置用于将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的净水，所述废液处理装置的特征在于，所述废液处理装置由下述部件构成：废液收纳箱，所述废液收纳箱用于收纳废液；废液输送泵，所述废液输送泵用于输送收纳于所述废液收纳箱的废液；分离处理构件，所述分离处理构件用于从由所述废液输送泵供给的废液分离出硅屑和不含硅屑的净水；回收构件，所述回收构件用于回收由所述分离处理构件分离出的硅屑；净水贮水箱，所述净水贮水箱用于贮存由所述分离处理构件分离出的不含硅屑的净水；以及硅屑箱，所述硅屑箱用于贮藏由所述回收构件回收的硅屑，所述分离处理构件具备：液槽，所述液槽用于积存由所述废液输送泵供给的所述废液；硅吸附板，所述硅吸附板带有正电并用于在所述废液中吸附带负电的所述硅屑，在所述液槽中等间隔地配置有多个所述硅吸附板；硅通过限制部，以与所述硅吸附板对置并与所述硅吸附板隔开间隔的方式交替地配设有多个所述硅通过限制部，并且所述硅通过限制部包括网孔状的硅通过限制板，所述硅通过限制板仅容许所述废液的液体通过而限制带负电的所述硅屑通过；以及电场形成部，所述电场形成部以所述硅吸附板为阳极并以所述硅通过限制板为阴极，在所述硅吸附板和所述硅通过限制板之间形成电场，所述硅通过限制部具备：壳体，所述壳体由框体和以阻闭所述框体的两侧开口面的方式相互平行地配设的一对所述硅通过限制板构成，所述壳体用于划分出通过所述硅通过限制板的净水存在的区域；和排出部，所述排出部用于将配设于所述壳体内的所述净水排出至所述净水贮水箱，所述回收构件具备：分离部，所述分离部用于从所述硅吸附板分离出硅屑；和吸附板移动部，所述吸附板移动部用于将所述硅吸附板从所述分离处理构件的所述液槽中移动至所述分离部。

而且，优选的是，在上述废液处理装置中，所述净水贮水箱具备：倾斜消泡板，所述倾斜消泡板横跨箱的相互面对的内壁从而将箱内分隔成两个空间并且以沿高度方向逐渐倾斜的方式配设，所述倾斜消泡板用于消除净水中的气泡；供给口，所述供给口配设于比所述倾斜消泡板靠上方侧的位置，用于供给从所述排出部排出的净水；以及输送口，所述输送口配设于所述倾斜消泡板的下方,用于从所述箱将除去气泡的净水供给至外部。

而且，优选的是，在上述废液处理装置中，所述分离处理构件的所述排出部具有：输送配管，所述输送配管配设于各壳体且用于将通过所述硅通过限制板的所述净水从各所述壳体内输送至所述净水贮水箱；和开闭阀，所述开闭阀与所述输送配管连接，当利用所述回收构件的所述吸附板移动部将所述硅吸附板从所述分离处理构件的所述液槽拉起时，与被拉起的所述硅吸附板相邻的两个所述硅通过限制部的所述开闭阀关闭，从而停止从相邻的两个所述硅通过限制部向所述净水贮水箱输送所述净水。

而且，优选的是，在上述废液处理装置中，在所述回收构件的所述分离部的下方连接有硅屑箱，所述硅屑箱用于贮藏由分离部分离出的硅屑，所述分离部具备氢气排出构件，所述氢气排出构件将从贮藏于所述硅屑箱的硅屑产生的氢气排出到外部。