[发明专利]电光调制器

权利要求书

1.一种电光调制器，其包括一个基底、一对Y型光波导、一个条状的地电极、一个条状的第一调制电极及一个条状的第二调制电极；该基底包括一个顶面；该对Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括两个一个仅用于传输横电波的第一分支及一个仅用于传输横磁波的第二分支；该地电极、该第一调制电极及该第二调制电极设置于该顶面上，该地电极及该第一调制电极分别设置于该第一分支两侧且该地电极覆盖该第二分支，该第二调制电极平行设置于该第二分支与该第一分支相背一侧，该Y型光波导还包括一个入射段及一个出射段；该第一分支及该第二分支从该入射段分出，并重新汇聚入该出射段，该第一分支在扩散金属钛后还继续扩散锌镍合金而形成。

2.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。

3.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该入射段及该出射段通过在该基底上扩散金属钛而形成。

4.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该第二分支在扩散金属钛后还扩散金属镓而形成。

5.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该电光调制器还包括缓冲层，该缓冲层形成在该基底，在该缓冲层上形成该地电极、第一调制电极及该第二调制电极，该缓冲层用来防止光波被该地电极、第一调制电极或该第二调制电极所吸收。

6.如权利要求5所述的电光调制器，其特征在于，该缓冲层采用二氧化硅制成。