[发明专利]光学检测装置无效

申请号：	201210472571.6	申请日：	2012-11-20
公开（公告）号：	CN103376059A	公开（公告）日：	2013-10-30
发明（设计）人：	姜海哲;林洪圭	申请（专利权）人：	技佳唯斯股份有限公司
主分类号：	G01B11/00	分类号：	G01B11/00;G01B11/24;G01N21/88
代理公司：	北京集佳知识产权代理有限公司 11227	代理人：	王轶;李洋
地址：	韩国***	国省代码：	韩国;KR
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	光学检测装置
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【说明书】：

技术领域

本发明涉及光学检测装置，更详细地涉及在获得由易弯曲的材质形成的检测片的影像的过程中，通过将检测片的变形最小、维持平滑度来能够进行更加迅速、准确的检测的光学检测装置。

背景技术

一般来讲，各种显示装置正处在逐渐向大型化发展的趋势，相比之下，产品的厚度却逐渐变薄。如同上述的显示装置通常通过利用光学摄像头的视觉检测（Vision Inspection）来检测不良与否。

为了执行如同上述的视觉检测，就必须设置移送检测对象物的移送单元、及为进行检测而固定检测对象物的固定单元。

尤其，在对薄膜材料即具有软性的膜、形成有孔的基板等的表面检测中，固定单元的平滑度被提为非常重要的事项。作为在进行检测的过程中确保检测片的平滑度的固定单元，以往有过在两层的透明玻璃基板之间配置检测片、或者在外围加工孔并向上述孔施加真空吸附力来吸附固定检测片的方法。

真空吸盘装置是通过吸收基板和吸盘装置之间的空气形成负压（negative pressure）来真空吸附基板的技术。因该装置用强负压致密地吸附基板整个面，所以对易弯曲的基板也能够抑制弯曲地进行吸附。但是，在上述的情况下，存在因检测片的歪曲或翘起现象导致无法确保平面度，产生无法检测的区域的问题。

发明内容

本发明用于解决上述的现有技术中的问题，其目的在于，提供将由易变形的材料形成的检测片以精密地固定的维持平面的状态进行视觉检测，由此能够提高检测速度，实现更加稳定、准确的检测的光学检测装置。

用于解决上述问题的根据本发明的一实施例的光学检测装置，包括：检测载物台，其在上表面沿着边缘形成向下方凹入的放置槽，贯通上述放置槽和下表面而形成流路，并且由光透过性材质构成，供上述检测片装载；固定框架，其支撑上述检测载物台的侧面或者下表面；多孔陶瓷材质的吸附面板，其插入到上述检测载物台的放置槽而被固定；真空组件，其向上述流路施加真空压来吸附上述吸附面板上的检测片；背光单元，其从上述检测载物台的下方，向检测载物台上的检测片照射光；以及拍摄单元，其配置于上述检测载物台的上方，获得装载于上述检测载物台上的检测片的图像。

根据本发明的优选实施例，上述真空组件包括：真空软管，其一端与上述检测载物台的流路相连接；以及真空泵，其与上述真空软管的另一端连接来施加真空压。

根据本发明的优选实施例，形成于上述检测载物台的放置槽的深度、和插入于上述放置槽的吸附面板的厚度形成为相同，使上述检测载物台和吸附面板的上表面平滑地连接成同一平面。

根据本发明的优选实施例，上述放置槽在上述检测载物台的上表面的边角处形成台阶来进行固定。

根据本发明的优选实施例，上述陶瓷面板的放置槽包括：边缘部，该边缘部沿着上述检测载物台的边缘形成；以及横截部，该横截部横穿中心部而成，以连通上述边缘部。

根据本发明的优选实施例，上述吸附面板形成有回避区间，真空压力不传递到该回避区间以使吸附力不施加到所装载的检测片。

根据本发明的光学检测装置，将由易变形的材料形成的检测片的边缘面用微细且均匀的吸附力精密地固定的状态来进行视觉检测，从而具有能够提高检测速度、实现更加准确的检测的效果。

并且，将施加到检测片的物理冲击最小化、可增加吸附力，因而具有可防止检测片损伤及变形，能够使检测进行得更加稳定的效果。

附图说明

图1是根据本发明的一实施例的光学检测装置的立体图。

图2是根据本发明的一实施例的光学检测装置的使用状态图。

图3是根据本发明的再一实施例的光学检测装置的俯视图。

图4是根据本发明的一实施例的光学检测装置的剖视图。