[发明专利]光学检测装置

权利要求书

1.一种光学检测装置，利用真空吸附固定由易弯曲的材料形成的检测片，用于进行视觉检测，其特征在于，

包括：

检测载物台，其在上表面沿着边缘形成向下方凹入的放置槽，贯通上述放置槽和下表面而形成流路，并且由光透过性材质构成，供上述检测片装载；

固定框架，其支撑上述检测载物台的侧面或者下表面；

多孔陶瓷材质的吸附面板，其插入到上述检测载物台的放置槽而被固定；

真空组件，其向上述流路施加真空压来吸附上述吸附面板上的检测片；

背光单元，其从上述检测载物台的下方，向检测载物台上的检测片照射光；以及

拍摄单元，其配置于上述检测载物台的上方，获得装载于上述检测载物台上的检测片的图像。

2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，

上述真空组件包括：

真空软管，其一端与上述检测载物台的流路连接；以及

真空泵，其与上述真空软管的另一端连接来施加真空压。

3.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，

形成于上述检测载物台的放置槽的深度、和插入于上述放置槽的吸附面板的厚度形成为相同，使上述检测载物台和吸附面板的上表面平滑地连接成平面。

4.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，

上述放置槽在上述检测载物台的上表面的边角处形成为台阶状。

5.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，

上述放置槽包括：

边缘部，该边缘部沿着上述检测载物台的边缘形成；以及

横截部，该横截部横穿中心部而成，以连通上述边缘部。

6.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，

上述吸附面板形成有回避区间，真空压力不传递到该回避区间以使吸附力不施加到所装载的检测片。