[发明专利]印刷装置以及印刷方法

说明书

技术领域

本发明涉及在通过对担载有涂敷层的橡皮布等担载体的一部分加压使该担载体的一部分与版抵接来图案成形涂敷层以形成图案层之后，通过对担载有该图案层的担载体的一部分加压使担载有该图案层的担载体的一部分与基板抵接来将图案层转印至基板的印刷装置以及印刷方法。

背景技术

作为上述的印刷方法，例如已知日本特开2010-158799号公报所记载的发明。在该日本特开2010-158799号公报所记载的发明中，通过对橡皮布加压使该橡皮布与版抵接，利用版的图案对橡皮布所担载的涂敷层进行图案成形，从而在橡皮布上形成图案层（第一转印工序）。然后，对上述橡皮布加压使该橡皮布与基板抵接，从而将橡皮布上的图案层转印至基板（第二转印工序）。

而且，为了对橡皮布加压使橡皮布与版抵接来良好地形成图案层，需要将橡皮布与版间的间隔设定为所期望的间隙量。另外，为了对橡皮布加压使橡皮布与基板抵接来将上述图案层良好地转印至基板，需要将橡皮布与基板间的间隔设定为所期望的间隙量。因此，以往提出了基于操作员或用户等预先设定的方法或程序等来使版以及基板相对于橡皮布移动的方案。

但是，在上述印刷方法中使用的橡皮布的厚度可能会随着时间发生变化。例如在日本特开2010-158799号公报所记载的发明中，利用硅酮橡胶或氟树脂作为橡皮布的构成材料。因此，随着时间的经过橡皮布膨胀，从而厚度发生变化。关于这一点，以往并没有充分考虑到，因此发生了未良好地形成图案层的问题或图案层的转印精度低的问题等。结果，难以利用橡皮布等担载体来稳定地进行高精度的印刷。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，在对担载有涂敷层的橡皮布等担载体的一部分加压使担载有涂敷层的橡皮布等担载体的一部分与版抵接来图案成形涂敷层以形成图案层之后，对担载有该图案层的担载体的一部分加压使担载有该图案层的担载体的一部分与基板抵接来将图案层转印至基板的印刷技术中，无论担载体的厚度变化如何，都利用担载体稳定地进行高精度的印刷。

本发明的印刷装置，对以使担载体担载的涂敷层与版相面对的方式配置的担载体的一部分加压使该担载体的一部分与版抵接，由此图案形成涂敷层以在担载体上形成图案层，然后对以使担载体上的图案层与基板相面对的方式配置的担载体的一部分加压使以使担载体上的图案层与基板相面对的方式配置的担载体的一部分与基板抵接，由此将图案层转印至基板，为了达到上述目的，其特征在于，包括：测量单元，用于测量担载体的厚度；移动单元，使版以及基板相对于担载体移动；控制单元，在即将要图案成形涂敷层之前，通过测量单元测量担载涂敷层的担载体的厚度来求出第一担载体厚度，并且控制单元基于第一担载体厚度控制移动单元来调整担载涂敷层的担载体与版间的间隔，在即将要转印图案层之前，通过测量单元测量担载图案层的担载体的厚度来求出第二担载体厚度，并且控制单元基于第二担载体厚度控制移动单元来调整担载图案层的担载体与基板间的间隔。

另外，在本发明的印刷方法中，为了达到上述目的，其特征在于，包括：图案成形工序，对以使担载体担载的涂敷层与版相面对的方式配置的担载体的一部分加压使该担载体的一部分与版抵接，由此图案成形涂敷层以在担载体上形成图案层，转印工序，对以使担载体上的图案层与基板相面对的方式配置的担载体的一部分加压使以担载体上的图案层与基板相面对的方式配置的担载体的一部分与基板抵接，由此将图案层转印至基板；在图案成形工序中，在即将要图案成形涂敷层之前，测量担载涂敷层的担载体的厚度来求出第一担载体厚度，并且基于第一担载体厚度调整担载涂敷层的担载体与版间的间隔，在转印工序中，在即将要转印图案层之前，测量担载图案层的担载体的厚度来求出第二担载体厚度，并且基于第二担载体厚度调整担载图案层的担载体与基板间的间隔。

在这样构成的发明（印刷装置以及印刷方法）中，由于利用担载体进行印刷，因此担载体的厚度随着时间发生变化是不可避免的。也就是说，每当在使担载体与版、担载体与基板相面对的状态下对担载体的一部分加压使担载体的一部分与版或基板抵接的时刻，担载体厚度都可能会不同。因此，对图案成形担载体所担载的涂敷层时，在即将要图案成形之前，通过测量单元实际测量担载该涂敷层的担载体的厚度，并且基于实际测量值（第一担载体厚度）调整担载涂敷层的担载体与版间的间隔。并且，在将该间隔调整到适于利用版进行图案成形的值之后进行图案成形。