[发明专利]一种基于光谱仪的光学位移传感器信号解调方法

权利要求书

1.一种基于光谱仪的光学位移传感器信号解调方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：光学位移传感器输出窄带衍射光信号至光谱仪；

步骤二：光谱仪读取窄带衍射光的光谱信息；

步骤三：光谱仪将光谱信息中的波长λ和光强I的对应数组数据，输入到计算机；

步骤四：计算机利用半高宽法处理波长λ和光强I的对应数组数据，得到窄带衍射光的中心波长λ₀；

步骤五：对中心波长λ₀进行插值运算，得到位移信息，完成解调。

2.根据权利要求1所述的一种基于光谱仪的光学位移传感器信号解调方法，其特征在于，步骤四中所述半高宽法为：先利用逐点比较法得到光强I的最大值I_MAX，后将光强I的对应数组数据减去0.1～0.9倍数的I_MAX，得到光强I的新数组数据，再由最大值I_MAX点向左右两个方向逐点比较得到光强I的新数组数据的绝对值最小值I_MINL、I_MINR，I_MINL、I_MINR对应的两个波长值λ_MINL和λ_MINR的中间值λ_MID，即为中心波长λ₀。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于光谱仪的光学位移传感器信号解调方法，其特征在于，步骤五中所述的插值运算为：先通过首次测量记录一组中心波长λ_标与位移X_标的对应数组数据，然后在测试中求得中心波长λ₀后，查找中心波长λ₀在λ_标对应的数组数据中所处区间，然后在区间内插值得到位移。