[发明专利]一种直流电源输出换向系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种将直流电源输出进行换向向磁场线包供电的技术领域，特别是应用在不同工作电位的离子注入机直流电源输出换向技术。

背景技术

目前电路的集成度越来越高，结构越来越复杂，存储速度越来越快，对材料性能的要求越来越苛刻。到65nm代器件，源漏区注入不但最小结深只有15nm，而且要求晕(halo)注入的掺杂浓度非常大，达到1E16/cm2量级，中束流注入机的能量范围和注入效率都已不能适应这一工艺要求，只有超低能大束流注入才能满足注入结深和注入剂量大要求。与传统的注入机不同，低能大束流离子注入对设备在束平行性、束能量纯度、离子束减速技术、注入晶圆电荷消除技术、离子束扩束技术、注入深度控制、注入重复性、均匀性与生产率等方面都提出了更高的要求。离子源产生高密度等离子体，由引出系统引出具有一定张角的宽带离子束，在宽带束低能离子注入机中用于控制透镜磁场的直流电源分布在不同的电位，许多透镜磁场的调节方式，要求电源电流能正负可变，而市场上很难找着既能满足输出大电流又能提供换向功能的电源，仅有几家配有换向功能选项的电源厂家，不仅价格昂贵，而且只能通过SCPI命令控制，通过工控机直接与电源连接通讯才能完成换向功能，无法通过0-10V标准模拟接口处控制，无法实现不同的工作电位换向控制。

发明内容

本发明专利即是针对上述现有技术中存在的问题而提出的一种结构简单、实现可靠的用于具有不同工作电位的离子注入机直流电源输出换向技术。

本发明专利通过以下技术方案来实现：

一种直流电源输出换向系统，包括工控机(1)、光纤(2)、光纤控制单元(3)、换向器(4)设有状态显示单元(7)与换向元件(6)、直流电源(5)、直流电源输出线(10)换向后输出线(8)以及磁铁线包(9)。所述换向器(4)由态显示单元(7)与换向元件(6)构成。

所述的工控机(1)与光纤控制单元通过光纤(2)相连；所述光纤控制单元(3)与状态显示单元(7)和换向元件(6)相连；所述换向元件(6)与所述光纤控制单元(3)以及所述状态显示单元(7)相连；所述直流电源(5)通过直流电源输出线(10)与换向元件(6)相连；所述的换向元件(6)通过换向后输出线与磁铁线包(9)相连。

相对现有技术，本发明所述电路的有益效果在于：

1.仅用一个换向元件实现直流电源输出换向，解决了常见多个元件控制时因响应不同步造成换向失败或接触不好；

2.电路简洁，可以实现模块化，利于生产和安装，成本低；

3.无需改变和破坏正在使用运行的现有直流电源的结构和电路就能顺利的满足不同工作电位电源输出端换向的功能；

附图说明

图1是本发明所述直流电源换向系统原理框图；

图2是本发明所述直流电源换向系统实施电路原理图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。

参见图1一种直流电源输出换向系统，包括工控机(1)、光纤(2)、光纤控制单元(3)、换向器(4)设有状态显示单元(7)与换向元件(6)、直流电源(5)、直流电源输出线(10)换向后输出线(8)以及磁铁线包(9)。所述换向器(4)由态显示单元(7)与换向元件(6)构成。

所述的工控机(1)与光纤控制单元通过光纤(2)进行通讯，进行数据的发送和接收实现高低电位光电隔离；所述光纤控制单元(3)与状态显示单元(7)和换向元件(6)相连；所述换向元件(6)与所述光纤控制单元(3)以及所述状态显示单元(7)相连；所述直流电源(5)通过直流电源输出线(10)与换向元件(6)相连；所述的换向元件(6)通过换向后输出线与磁铁线包(9)相连。

所述换向元件(6)采用带多组常闭，多组常开的交流接触器来满足直流电源输出换向功能及状态信号的采集。