[发明专利]裸片位置判定系统有效

专利信息
申请号: 201210440043.2 申请日: 2012-11-06
公开(公告)号: CN103808255B 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 柴田光彦 申请(专利权)人: 株式会社富士
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;H01L21/67
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 穆德骏;谢丽娜
地址: 日本爱知*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 位置 判定 系统
【权利要求书】:

1.一种裸片位置判定系统,判定利用裸片拾取装置的吸嘴或设置有该裸片拾取装置的零件安装机的吸嘴来吸附切割片上的裸片的过程中的裸片位置,所述裸片拾取装置安装有晶片托盘,该晶片托盘上张设有所述切割片,该切割片上粘贴有通过对晶片进行切割而形成的裸片,其特征在于,具备:

一个或多个基准位置标记,其中,在具备多个基准位置标记的情况下,所述多个基准位置标记设置于所述晶片托盘的上表面中的比所述晶片靠外侧的位置,在具备一个基准位置标记的情况下,所述一个基准位置标记设置在所述晶片托盘的上表面中的比所述晶片靠外侧的位置,并且具有方向性的形状,使得能够计测所述裸片拾取装置的机械坐标系与所述晶片托盘的坐标系之间的位置偏差量;

存储单元,存储有在以所述基准位置标记的位置为基准的所述晶片托盘的坐标系中生成的所述裸片的排列位置信息;

相机,拍摄设置在规定位置的所述晶片托盘的基准位置标记;

图像处理单元,处理所述相机的拍摄图像而识别所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述基准位置标记的位置;和

裸片位置运算单元,基于由所述图像处理单元识别出的所述基准位置标记的位置和存储于所述存储单元中的所述裸片的排列位置信息,计算所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述裸片的位置。

2.根据权利要求1所述的裸片位置判定系统,其特征在于,

所述裸片位置运算单元基于由所述图像处理单元进行图像识别而识别出的所述多个基准位置标记的位置来计算所述晶片托盘的坐标系相对于所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系的位置偏差量,根据该位置偏差量来校正所述裸片的排列位置信息,由此求出所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述裸片的位置。

3.根据权利要求1所述的裸片位置判定系统,其特征在于,

所述图像处理单元及所述裸片位置运算单元设置于所述裸片拾取装置的控制装置、所述零件安装机的控制装置及包含所述零件安装机在内的零件安装线的控制装置中的任一控制装置上。

4.根据权利要求2所述的裸片位置判定系统,其特征在于,

所述图像处理单元及所述裸片位置运算单元设置于所述裸片拾取装置的控制装置、所述零件安装机的控制装置及包含所述零件安装机在内的零件安装线的控制装置中的任一控制装置上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的裸片位置判定系统,其特征在于,

所述存储单元设置于所述晶片托盘、所述裸片拾取装置的控制装置、所述零件安装机的控制装置及包含所述零件安装机在内的零件安装线的控制装置中的任一方上。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的裸片位置判定系统,其特征在于,

在所述存储单元中存储有多个晶片托盘的裸片的排列位置信息,

在所述晶片托盘上设有记录或存储有该晶片托盘的识别信息的识别信息记录部,

在所述裸片拾取装置上设有从所述识别信息记录部读取所述识别信息的识别信息读取单元,

所述裸片位置运算单元从存储于所述存储单元中的多个所述晶片托盘的裸片的排列位置信息中读出与由所述识别信息读取单元所读取的所述识别信息对应的晶片托盘的裸片的排列位置信息,并计算该晶片托盘的裸片的位置。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的裸片位置判定系统,其特征在于,

在所述存储单元中,存储有生产开始裸片的位置信息,所述生产开始裸片是在生产开始后首先利用所述吸嘴吸附的裸片。

8.根据权利要求7所述的裸片位置判定系统,其特征在于,

在所述存储单元中,在生产结束时将在下一次的生产中首先吸附的裸片的位置信息作为所述生产开始裸片的位置信息进行更新并存储。

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