[发明专利]快速完成曝光时面板与掩膜精确对位的方法

权利要求书

1.一种快速完成曝光时面板与掩膜精确对位的方法，其特征是它包括以下步骤：

a、面板（1）准备，在有电极的面板上整板印刷光敏介质，并烘干； 

b、掩膜（4）准备，清洁掩膜；

c、感光干膜（6）准备，在干膜切割机上切取与介质面板尺寸大小一致的感光干膜；

d、粘尘辊清洁曝光机的上下板面；

e、将感光干膜吸附在彩色光滑纸上（5）；

f、将清洁好的掩膜（4）固定在曝光机内的上板面上（2）；

g、将贴有感光干膜的光滑纸固定在曝光机内的下板面（3）上即曝光区，移动感光干膜，尽量使它放在曝光区的中间；

h、对感光干膜进行10—15秒钟的曝光；

i、将面板（1）放置干膜（6）上，根据感光干膜上的对位标记（7），用肉眼将面板对位标记与其初步对齐；

j、通过CCD对位装置寻找对位标记，通过曝光机的x-y滚轴调节功能，手动微调下板面（3），使观察到的两个对位标记完全重合，从而实现最终的精确对位；

k、对精确对位后的面板（1）正常曝光。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于通过感光干膜的感光性，曝光后可以成图，从而进行初步对位。

3.据权利要求1所述的方法，其特征在于面板上印刷的介质是光敏性的，曝光后能形成图形。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于彩色保护纸可以循环利用，且彩色使成形图形更清晰，“光滑”便于操作中移动感光干膜。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于撕开保护膜后，感光干膜具有一定的吸附作用，会自动吸附在光滑纸上。