[发明专利]用于晶圆级感测元件的自我测试系统及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于晶圆级感测元件的自我测试系统，特别是涉及一种用于晶圆级感测元件中可以有效降低测试成本及提升检测效率的自我测试系统。

背景技术

由于现今微机电元件应用层面愈趋勃蓬广泛，并且半导体技术发展亦日趋成熟，导致微机电元件售价逐年递减，而其中元件测试成本却因所需的高价测试机台而难以降低，致使无法有效降低整体成本。

尤其是目前一般在晶圆等级元件测试时，测试过程中必需使用外部测量仪器，并借由外部导线的接线方式，才能进行微机电系统(MEMS)晶圆级结构的微小电容量测。然而，因其需要搭配使用外部测量仪器，故于量产阶段中，通盘考虑仪器成本和测试时间成本后，则产出利润将无法达到最大化且难以提升市场竞争力。

有鉴于上述问题，因此亟需提出具有高效率及高效益的晶圆级感测元件的自我测试系统及其方法。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其可以有效降低测试成本及提升检测效率。

本发明的另一目的在于，提供一种用于晶圆级感测元件的自我测试系统的方法。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其包含:晶圆级感测元件，包含固定单元及可动单元，其中该固定单元与该可动单元之间形成感应电容；及测试模块，用以电性连接该晶圆级感测元件，其中该测试模块包含测试电路，用以量测该感应电容；其中该晶圆级感测元件，用以接收输入信号，使该感应电容产生电容值变化量，而该测试电路根据该电容值变化量，输出测试信号。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其中该固定单元包含至少两个固定臂。

前述的用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其中该可动单元包含质量块及移动臂，其中该移动臂设于该质量块上，且该移动臂位于该些固定臂之间。

前述的用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其中该固定单元及该可动单元分别包含信号输入端,且该该固定单元还包含信号输出端。

前述的用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其中该测试电路包含转阻放大器、混频器及滤波器。

前述的用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其中该测试电路内建于探针卡或测试机的测试电路板。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的用于晶圆级感测元件的自我测试方法，其中该晶圆级感测元件包含可动单元及固定单元，且该可动单元与该固定单元间形成感应电容，该方法包含：提供输入信号至该晶圆级感测元件；根据该输入信号产生该感应电容的电容值变化量；根据该电容值变化量，输出测试信号。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的用于晶圆级感测元件的自我测试方法，其中该输入信号包含激励信号及调变信号。

前述的用于晶圆级感测元件的自我测试方法，其中提供该输入信号的步骤包含：将该调变信号及该激励信号分别输入至该可动单元及该固定单元。

前述的用于晶圆级感测元件的自我测试方法，其中输出该测试信号的步骤包含：使用测试电路，检测该感应电容的该电容值变化量，以判读是否良好完整。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案,本发明用于晶圆级感测元件的自我测试系统及其方法可达到相当的技术进步性及实用性，并具有产业上的广泛利用价值，其至少具有下列优点：在晶圆级测试时仅需借由任意波形产生器产生输入信号，即可进行检测，且所需测试电路的设计简易，完全可取代外部测量仪器，而能大幅降低整体测试成本。此外，通过将测试电路整合配置于测试模块上，同时亦能缩短测试时间以增加测试效率。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图,详细说明如下。

附图说明

图1A绘示依据本发明一实施例的用于晶圆级感测元件的自我测试系统的示意图。

图1B绘示图1A中的自我测试系统的等效电路图。

图2A-图2C分别绘示依据本发明一实施例的测试电路中的转阻放大器、混频器及滤波器的输出信号图。

图3A绘示依据本发明另一实施例的自我测试系统的功能方框图。

图3B绘示依据本发明另一实施例的自我测试系统的功能方框图。