[发明专利]用于晶圆级感测元件的自我测试系统及其方法

权利要求书

1.一种用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其特征在于其包含:

晶圆级感测元件，包含固定单元及可动单元，其中该固定单元与该可动单元之间形成感应电容，并且该固定单元包含两个固定臂，而该可动单元包含质量块及移动臂，其中该移动臂设于该质量块上，且该移动臂位于该两个固定臂之间；及

测试模块，用以电性连接该晶圆级感测元件，其中该测试模块包含测试电路，用以量测该感应电容；

其中该晶圆级感测元件，用以接收由波形产生器所产生的输入信号，使该感应电容产生电容值变化量，其中输入信号包括调变信号和激励信号，该可动单元接收调变信号，一个固定臂接收激励信号，且另一个固定臂输出由电容值变化量引起的感应信号，其中该调变信号与该激励信号的频率不同，而该测试电路根据该电容值变化量，输出测试信号，并且其中当该晶圆级感测元件的可动单元接收调变信号后，该可动单元对应产生静电力，使该感应电容产生电容值变化量；

其中该测试电路包含滤波器，用以除去寄生电容相关的感应信号。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其特征在于该固定单元及该可动单元分别包含信号输入端,且该固定单元还包含信号输出端。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其特征在于该测试电路包含转阻放大器及混频器。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其特征在于该测试电路内建于探针卡或测试机的测试电路板。

5.一种用于晶圆级感测元件的自我测试方法，其中该晶圆级感测元件包含可动单元及固定单元，且该可动单元与该固定单元间形成感应电容，其特征在于该方法包含：

提供输入信号至该晶圆级感测元件，其中输入信号产生自波形产生器，其中该感测元件包含固定单元及可动单元，并且其中该固定单元与该可动单元之间形成感应电容，该固定单元包含两个固定臂，而该可动单元包含质量块及移动臂，其中该移动臂设于该质量块上，且该移动臂位于该两个固定臂之间；

根据该输入信号产生该感应电容的电容值变化量，其中输入信号包括调变信号和激励信号，该可动单元接收调变信号，一个固定臂接收激励信号，且另一个固定臂输出由电容值变化量引起的感应信号，其中该调变信号与该激励信号的频率不同，且使用滤波器以除去寄生电容相关的感应信 号；

根据该电容值变化量，输出测试信号，其中当该晶圆级感测元件的可动单元接收调变信号后，该可动单元对应产生静电力，使该感应电容产生电容值变化量。

6.根据权利要求5所述的用于晶圆级感测元件的自我测试方法，其特征在于输出该测试信号的步骤包含：

使用测试电路，检测该感应电容的该电容值变化量，以判读晶圆级感测元件是否良好完整。