[发明专利]石墨烯薄膜式扬声器及其制备方法

权利要求书

1.一种石墨烯薄膜式扬声器，其特征在于，它包括压电薄膜，在压电薄膜的两侧均粘结有1-6层石墨烯薄膜，在石墨烯薄膜上连接有两个电极。

2.一种石墨烯薄膜式扬声器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)采用化学气相沉积的方法在金属衬底上制备一层石墨烯薄膜；

(2)将该石墨烯薄膜表面上粘附一层热释放胶带，作为石墨烯薄膜的保护层；

(3)用能与金属衬底的金属发生化学反应的溶液去掉该金属衬底；

(4)将热释放胶带并石墨烯薄膜粘附到压电薄膜上，保证石墨烯薄膜与压电薄膜充分接触，避免中间留下气泡；

(5)将粘附有热释放胶带并石墨烯薄膜的压电薄膜加热去掉热释放胶带，得附有石墨烯薄膜的压电薄膜；

(6)重复步骤（2）-（5）将石墨烯薄膜粘附到压电薄膜的另一侧，得到附有石墨烯薄膜的压电薄膜；

(7)在压电薄膜的石墨烯薄膜上接出两个引出电极，就得到了石墨烯薄膜式扬声器。

3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述金属衬底为Cu箔或Ni箔，所述化学溶液为FeCl₃溶液。

4.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积方法催化生长石墨烯，生长温度为800-1100℃，利用甲烷、乙炔中的一种或两种气体的混合气体作为碳源，气流量为10-300sccm，利用氢气作为辅助气体，气流量为10-200sccm；生石墨烯的生长时间为10-60min。

5.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述热释放胶带丧失粘性的温度在40-90℃。

6.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中石墨烯薄膜与热释放胶带的粘附过程选用压膜机来完成，粘附速度设定为10-50cm/min；粘附时需先令热释放胶带与石墨烯薄膜的一端接触，而后从接触端开始缓缓向另一端推进。

7.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中石墨烯薄膜与压电薄膜的粘附采用压膜机进行，压膜速度为10-50cm/min；粘附时需先令胶带与压电薄膜的一端接触，而后从接触端开始缓缓向另一端推进。

8.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（5）中粘附有热释放胶带并石墨烯薄膜的压电薄膜放置在热板上烘烤，热板温度为40-90℃，烘烤时间为1-10min。

9.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（6）完成后继续重复步骤（2）-（5）多次，得到附有多层石墨烯薄膜的压电薄膜。

10.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（7）所述的引出电极采用铜带、银带、金带导电性较好的材料，或采用可涂敷银浆或喷印导电油墨作为引出电极，引出电极的位置为附有石墨烯薄膜的压电薄膜的四周，并应露出压电薄膜的边缘1-2mm，防止两个面的引出电极接触，造成电路短路。