[发明专利]研磨粒回收装置、研磨液的管理系统、玻璃基板的制造方法及研磨粒回收方法

权利要求书

1.一种研磨粒回收装置，从含有研磨粒的料浆中分离含有所述研磨粒的浓缩液，

该研磨粒回收装置具有：

保持所述料浆的转筒；

用于将所述浓缩液从转筒中刮出的螺旋输送机；

用于旋转驱动所述转筒及所述螺旋输送机的驱动单元；及

控制所述驱动单元的控制单元，

所述控制单元基于旋转驱动所述转筒或所述螺旋输送机用的所述驱动单元的驱动电流值控制所述转筒的旋转速度和所述螺旋输送机的旋转速度之差。

2.根据权利要求1所述的研磨粒回收装置，其中，

所述控制单元控制所述转筒的旋转速度和所述螺旋输送机的旋转速度之差以使旋转驱动所述转筒或所述螺旋输送机用的所述驱动单元的驱动电流值处于规定的范围。

3.根据权利要求1或2所述的研磨粒回收装置，其中，

所述控制单元控制所述螺旋输送机的旋转速度以使以一定的旋转速度旋转驱动所述转筒用的所述驱动单元的驱动电流值处于规定的范围，

在所述驱动电流值比所述规定的范围大的情况下，所述控制单元提高所述螺旋输送机的旋转速度而进行控制以使所述驱动电流值处于所述规定的范围，

在所述驱动电流值比所述规定的范围小的情况下，所述控制单元降低所述螺旋输送机的旋转速度而进行控制以使所述驱动电流值处于所述规定的范围。

4.一种含有研磨粒的研磨液的管理系统，具有：

权利要求1~3中任意一项所述的研磨粒回收装置；

粗大粒子分离装置；及

成分调整槽。

5.一种磁记录介质用玻璃基板的制造方法，具有：

研磨工序；及

清洗工序，

其中，所述研磨工序使用权利要求4所述的研磨液的管理系统。

6.一种研磨粒回收方法，使用了研磨粒回收装置，该研磨粒回收装置具有：

保持含有研磨粒的料浆的转筒、

用于将含有所述研磨粒的浓缩液从转筒中刮出的螺旋输送机、

用于旋转驱动所述转筒及所述螺旋输送机的驱动单元、及

控制所述驱动单元的控制单元，

在所述研磨粒回收方法中，基于旋转驱动所述转筒或所述螺旋输送机用的所述驱动单元的驱动电流值控制所述转筒的旋转速度和所述螺旋输送机的旋转速度之差。