[发明专利]扫描式磁控溅射阴极及扫描式磁控溅射装置

权利要求书

1.一种扫描式磁控溅射阴极，设于真空腔体上并对真空腔体内的靶材进行磁控扫描，其特征在于，所述扫描式磁控溅射阴极包括位于所述真空腔体外的磁性部件及驱动器，所述磁性部件与所述靶材相对应，所述驱动器驱使所述磁性部件在所述真空腔体外做平面的活动而对所述靶材进行平面的磁性扫描。

2.如权利要求1所述的扫描式磁控溅射阴极，其特征在于，还包括连接于所述磁性部件及驱动器之间的中间传动组件，所述中间传动组件包括与所述驱动器的输出端相平行并枢接于所述真空腔体外的丝杆、套于所述丝杆上并与所述丝杆啮合传动的丝母及连接于所述丝杆和所述驱动器之输出端的中间传送部件，所述丝母固定于所述磁性部件上。

3.如权利要求2所述的扫描式磁控溅射阴极，其特征在于，所述中间传送部件为安装在所述驱动器的输出端上的主动轮、安装在所述丝杆上的从动轮及套于所述主动轮及从动轮上的传送件；或者所述中间传送部件为安装在所述驱动器的输出端上的主动齿轮及安装在所述丝杆上并与所述主动齿轮啮合传动的从动齿轮。

4.如权利要求2所述的扫描式磁控溅射阴极，其特征在于，还包括相互配合的导向杆及导向套，所述导向杆安装在所述真空腔体外并与所述丝杆相平行，所述导向套安装在所述磁性部件上并套于所述导向杆上。

5.如权利要求1所述的扫描式磁控溅射阴极，其特征在于，所述真空腔体具有与外界冷却系统相连通的循环通道，所述循环通道位于所述磁性部件与所述靶材之间，且所述循环通道与所述靶材相对应。

6.如权利要求5所述的扫描式磁控溅射阴极，其特征在于，所述真空腔体内设置有一密封金属板，且所述真空腔体开设有贯穿该真空腔体面对所述靶材的一侧的循环通槽，所述密封金属板密封所述循环通槽面对所述靶材的一侧并形成出所述循环通道，所述靶材紧贴所述密封金属板。

7.如权利要求1所述的扫描式磁控溅射阴极，其特征在于，所述靶材面对所述磁性部件的磁力集中区处对应地设置有一凸台。

8.一种扫描式磁控溅射装置，适用对基板进行真空溅射镀膜，其特征在于，所述扫描式磁控溅射装置包括真空腔体、控制器及扫描式磁控溅射阴极，所述控制器设置于所述真空腔体外，所述真空腔体内设置有靶材，所述扫描式磁控溅射阴极包含位于所述真空腔体外的磁性部件及驱动器，所述磁性部件与所述靶材相对应，所述驱动器与所述控制器电性连接，所述驱动器驱使所述磁性部件在所述真空腔体外做平面的活动而对所述靶材进行平面的磁性扫描。

9.如权利要求8所述的扫描式磁控溅射装置，其特征在于，所述扫描式磁控溅射阴极还包括连接于所述磁性部件及驱动器之间的中间传动组件，所述中间传动组件包括与所述驱动器的输出端相平行并枢接于所述真空腔体外的丝杆、套于所述丝杆上并与所述丝杆啮合传动的丝母及连接于所述丝杆和所述驱动器之输出端的中间传送部件，所述丝母固定于所述磁性部件上。

10.如权利要求9所述的扫描式磁控溅射装置，其特征在于，所述中间传送部件为安装在所述驱动器的输出端上的主动轮、安装在所述丝杆上的从动轮及套于所述主动轮及从动轮上的传送件；或者所述中间传送部件为安装在所述驱动器的输出端上的主动齿轮及安装在所述丝杆上并与所述主动齿轮啮合传动的从动齿轮。

11.如权利要求9所述的扫描式磁控溅射装置，其特征在于，所述扫描式磁控溅射阴极还包括相互配合的导向杆及导向套，所述导向杆安装在所述真空腔体外并与所述丝杆相平行，所述导向套安装在所述磁性部件上并套于所述导向杆上。

12.如权利要求8所述的扫描式磁控溅射装置，其特征在于，所述真空腔体具有与外界冷却系统相连通的循环通道，所述循环通道位于所述磁性部件与所述靶材之间，且所述循环通道与所述靶材相对应。

13.如权利要求12所述的扫描式磁控溅射装置，其特征在于，所述真空腔体内设置有一密封金属板，且所述真空腔体开设有贯穿该真空腔体面对所述靶材的一侧的循环通槽，所述密封金属板密封所述循环通槽面对所述靶材的一侧并形成出所述循环通道，所述靶材紧贴所述密封金属板。

14.如权利要求8所述的扫描式磁控溅射装置，其特征在于，所述靶材面对所述磁性部件的磁力集中区处对应地设置有一凸台。