[发明专利]一种用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室

说明书

技术领域

本发明涉及光谱仪领域，特别是指一种用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室。

背景技术

同时式固定道波长色散X荧光光谱仪是由四周安装有多个固定元素道，由X射线管产生的原级X射线照射到样品上，样品中的元素受到激发射出特征荧光X射线，并与原级X射线的散射线一起，通过固定元素道(前狭缝、分光盒、后狭缝)进入探测器，进行光电转换，把光子转换成可以测量的电信号脉冲。探测器的输出脉冲经放大器和脉冲高度分析器的幅度甄别后，由计算机软件进行数据处理，输出结果。同时式固定道波长色散X荧光光谱仪的固定道采用的晶体分光形式可以分平晶分光、弯晶分光(弯晶可分为全聚集、对数螺旋)。平晶不能聚集，需与准直器联合使用，所以体积会比较大，限制了固定元素道的数量。弯晶能将光聚集在点上，要与狭缝联合使用，由于狭缝体积小且是圆管，装配在分光真空室前狭缝就可以多数量的安装。

影响同时式固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室光路结构参数有：X射线管的尺寸、标准样品盒尺寸和样品自旋机构的尺寸、光闸的结构尺寸、前狭缝结构尺寸、分光盒结构尺寸、后狭缝结构尺寸、探测器结构尺寸、真空密封等。要想设计出性能优异的X荧光光谱仪，分光真空室一定要设计合理，在追求足够多的固定元素道的同时还要兼顾到机械结构的限制。如光路的传播距离越小，X荧光误差的越少，但机械结构总是需要一定的尺寸，不可能无限制地小，因此，光路参数和结构参数设计时要本着一个相互结合、兼顾和优化的过程，这个过程要考虑的因素很多且工作量大；最重要的是，这个分光真空室设计优化的因素很多，如果考虑不周到会使出现先天不足，要么仪器性能就得不到保障，要么机械结构尺寸过于紧张而造成机械的故障率高，不便于维修和安装。另外分光真空室安装固定元素道的个数由于上述问题而得到限制。所以目前国内出现在小功率同时式固定道波长色散X荧光光谱仪最多配置的固定元素道为10个，国外日本岛津大功率同时式因定道波长色散X荧光光谱仪最多配置的固定元素道为36个，采用的是双层分光真空室。

发明内容

本发明的目的是提出一种用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，即解决目前固定元素道数量少和结构复杂的问题。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其包括一个喇叭形的分光真空室壳体，所述壳体的侧壁上均匀地设置有二十个用于安装前狭缝的圆孔，所述圆孔的中轴线与所述壳体的中轴线汇聚于一点，且所述圆孔的中轴线与所述壳体的中轴线之间形成55°夹角。

优选地，所述分光真空室壳体的一端开设有X射线管安装孔，另一端设置有光闸安装孔，所述光闸安装孔外部还设置有样品盒与自旋机构安装孔。

优选地，所述分光真空室壳体的喇叭口连接有一个圆环平面，所述样品盒与自旋机构安装孔开设于所述圆环平面中心处。

优选地，所述分光真空室壳体的喇叭口外径为320mm。

优选地，所述圆环平面的外径为350mm。

优选地，所述分光真空室壳体与所述圆环平面的总高度为120mm。

本发明的有益效果是：

本发明充分考虑了现有的X射线管的尺寸、标准样品盒尺寸和样品自旋机构的尺寸、光闸的结构尺寸、前狭缝结构尺寸、分光盒结构尺寸、后狭缝结构尺寸、探测器结构尺寸、真空密封等问题，设计出安装固定元素道个数为20个的分光真空室，使整机性能稳定，易于安装和维护；其光路参数和结构设计相互结合、兼顾优化，故障率低。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明分光真空室优选实施例的外部结构示意图；

图2为本发明分光真空室优选实施例的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。