[发明专利]平行板电容器有效
| 申请号： | 201210391609.7 | 申请日： | 2012-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN103728467A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 郭梅寒;张新伟;夏长奉;苏巍 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杜娟娟;王忠忠 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平行 电容器 | ||
【权利要求书】：
1.一种平行板电容器，包括第一极板和与第一极板相对设置的第二极板，其特征在于，所述平行板电容器包括：
在形成所述第一极板的基底上设置的至少一对敏感单元，所述敏感单元包括敏感元件和将敏感元件连接到所述第一极板的元件连接臂；
设置在所述第二极板所在的基底上的锚定支座，其通过悬臂梁连接到所述元件连接臂；
其中，每个元件连接臂与相对于其对称的至少两个锚定支座连接。
2.如权利要求1所述的平行板电容器，其特征在于，所述敏感元件为质量块，所述元件连接臂和所述悬臂梁均由硅形成，且所述元件连接臂比所述悬臂梁厚。
3.一种平行板电容器，包括第一极板和与第一极板相对设置的第二极板，其特征在于，所述平行板电容器包括：
在形成所述第一极板的基底上设置的至少一个敏感单元，所述敏感单元被所述第一极板包围，且所述敏感单元包括敏感元件和将敏感元件连接到所述第一极板的元件连接臂；
设置在所述第二极板所在的基底上的锚定支座，其通过悬臂梁连接到所述元件连接臂；
其中，每个元件连接臂与相对于其对称的至少两个锚定支座连接。
4.如权利要求3所述的平行板电容器，其特征在于，所述敏感元件为质量块，所述元件连接臂和所述悬臂梁均由硅形成，且所述元件连接臂比所述悬臂梁厚。
5.一种包括如权利要求1－4中任意一项所述的平行板电容器的加速度传感器。
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