[发明专利]锯线引导辊

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于线锯/金属丝锯的锯线/金属丝引导辊和一种用于制造锯线引导辊的方法。本发明还涉及一种用于锯割硅块的线锯和一种用于锯割硅块的方法。

背景技术

在生产晶圆的制造工艺中存在一工艺步骤，在该步骤中必须由硅柱切割出晶圆。为此例如使用线锯。这种线锯例如由EP 0 733 429 A1已知。一直存在对改进这种线锯的需求。

发明内容

本发明的目的在于，改进用于线锯的锯线引导辊。这个目的通过权利要求1的特征实现。

本发明的核心在于，这样设计一锯线引导辊，使辊壳/辊套具有有目的/专设的同心转动偏差（Rundlauffehler），即，使辊壳有目的地偏离完美的同心转动（Rundlauf）。由此可以有目的地激励放置在锯线引导辊上且由锯线引导辊导引的锯线使其振动。按照本发明可知，由此可以更好地将也称为泥浆的磨料供应给切割缝隙。

在此同心转动偏差指的是，辊壳在一垂直于辊轴的平面中具有一外圆周，其中，至少两个在该辊壳外圆周上的点具有不同的到辊轴的距离。

与同心转动的偏差位于0.1mm至5mm、尤其0.1mm至3mm、尤其0.5mm至3mm、尤其0.5mm至2mm的范围内。同心转动偏差优选位于0.5mm至3mm的范围内。这在使由同心转动偏差引起的离心力和/或振动保持可控的同时，导致了振幅足够大的振动。

一般可以通过旋转不对称的、即非旋转对称的辊壳设计结构来实现所述辊子转动从完美同心转动的偏离。

所述辊壳尤其可以具有一非圆环形的横截面。这可以由此实现，即，使所述辊壳具有一外部的和/或内部的、偏离圆形形状的圆周。非圆环形的横截面也可以通过外部的辊壳圆周和内部的辊壳圆周的非同心的布置来实现。换言之，在这种情况下辊壳的内部圆周中心点与外部圆周中心点间隔开一定距离。

以特别简单的方式可以通过使所述辊壳具有一在径向上变化的厚度来实现辊子转动从同心转动的偏离。

按照本发明的另一方面，也可以通过所述辊轴相对于辊基体的偏心的布置来实现同心转动偏差。

此外所述辊基体可以具有偏离圆形的横截面。所述辊基体的横截面尤其可以是椭圆的。该横截面尤其具有大于0、尤其为至少0.05的数值的偏心率。

也可以由下述方式实现有目的的同心转动偏差、尤其相应的辊壳横截面，即，使所述辊壳具有导向沟，导向沟的在径向上的深度在辊壳的圆周上是变化的。

本发明的另一目的在于，给出一种用于制造锯线引导辊的方法。这个目的通过权利要求7的特征实现。

本发明的核心在于，在给辊壳加工沟槽时偏心地支承所述辊。由此以特别简单的方法产生有目的的同心转动偏差。这样制造的锯线引导辊可以与常见的线锯一起使用。无需改变线锯的结构。

本发明的另一目的在于，改善一种用于锯割硅块的线锯。这个目的通过权利要求8的特征实现。

本发明的核心在于，这样构造锯线引导辊中的至少一个，使得所述锯线区为了锯割硅块在线锯运行时至少局部地进行振动。所述锯线引导辊的这种构造可以通过锯线引导辊的适合的形状结构和/或适合的布置方式来实现。

所述振动优选具有0.5mm至3mm的振幅。所述振动的振幅位于0.1mm至5mm、尤其0.1mm至3mm、尤其0.5mm至3mm、尤其0.5mm至2mm的范围内。

所述用于产生振动的锯线引导辊尤其相对于锯线区的用于锯割的部段设置在锯线进入侧。

所述锯线区的振动尤其在横向于、尤其垂直于锯线进给方向且垂直于由锯线区撑开的平面的方向上具有一振幅。

按照本发明的另一方面，辊轴中的至少一个为了产生振动能以可振动的方式被支承。所述辊轴尤其能以可在垂直于切割平面、即基本垂直于锯线区的方向上振动的方式被支承。对所述辊轴的可振动的支承能够实现对锯线区的振动的特别精确的监控。

在一特别有利的实施例中，所述辊轴也能沿着一弧形的轨迹可振动地被导引。由此尤其可以减小、特别是避免锯线应力的变化。

可通过前面所述的按照本发明的锯线引导辊以简单的方式实现锯线区的振动。

按照本发明的另一方面，所述线锯的锯线可具有与按照现有技术的用于线锯的锯线相比减小的直径。所述锯线尤其具有最大100μm的直径。较细的锯线尤其导致较窄的锯割缝隙并由此导致较少的损失，即，导致较好的硅块产出。

本发明的另一目的在于，改善一种用于锯割硅块的方法。这个目的通过权利要求14的特征实现。

优点对应于上面的描述。