[发明专利]锯线引导辊

权利要求书

1.一种用于线锯（1）的锯线引导辊（3），该锯线引导辊具有

a.一以能围绕辊轴（14）转动的方式被支承的辊基体（15）和

b.一设置在辊基体（15）上的辊壳（16），

c.其中，所述辊壳（16）这样设计，使得所述锯线引导辊（3）具有有目的的同心转动偏差（17）。

2.根据权利要求1所述的锯线引导辊（3），其特征在于，所述辊壳（16）在垂直于辊轴（14）的方向上具有相对于辊轴（14）非旋转对称的横截面。

3.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊（3），其特征在于，所述辊壳（16）具有非圆环形的横截面。

4.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊（3），其特征在于，所述辊壳（16）具有在径向（22）上变化的厚度（D）。

5.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊（3），其特征在于，所述辊轴（14）相对于辊基体（15）偏心地布置。

6.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊（3），其特征在于，所述辊基体（15）构造成椭圆的。

7.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊（3），其特征在于，所述辊壳（16）具有至少一个具有在辊壳（16）圆周上变化的深度的导向沟（5）。

8.一种用于制造锯线引导辊（3）的方法，包括下面的步骤：

-制备一辊，该辊具有一以能围绕辊轴（14）转动的方式被支承的辊基体（15）和一辊壳（16），

-给辊壳（16）加工沟槽，

-其中，在加工沟槽时偏心地支承所述辊。

9.一种用于锯割硅块（13）的线锯（1），具有

a.多个以能围绕辊轴（14）转动的方式被支承的锯线引导辊（3）和

b.一通过锯线引导辊（3）在锯线区（6）中被导引的锯线（2），

c.其中，这样构造锯线引导辊（3）中的至少一个，使得所述锯线区（6）在线锯（1）运行时至少局部地进行振动。

10.根据权利要求9所述的线锯（1），其特征在于，至少一用于产生振动的锯线引导辊（3）相对于锯线区（6）的用于锯割的部段设置在锯线进入侧。

11.根据权利要求9至10中任一项所述的线锯（1），其特征在于，所述振动在垂直于锯线（2）进给方向（20）的方向上具有振幅。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的线锯（1），其特征在于，辊轴（14）中的至少一个为了产生振动以能振动的方式被支承。

13.根据权利要求9至12中任一项所述的线锯（1），其特征在于，该线锯具有至少一个根据权利要求1至6中任一项所述的锯线引导辊（3），用以产生振动。

14.根据权利要求9至13中任一项所述的线锯（1），其特征在于，所述锯线（2）具有最大100μm的直径。

15.一种用于锯割硅块（13）的方法，包括下面的步骤：

-准备一线锯（1），该线锯具有

--多个以能围绕辊轴（14）转动的方式被支承的锯线引导辊（3）和

--一通过锯线引导辊（3）在锯线区（6）中被导引的、能沿着进给方向（20）移动的锯线（2），

-准备一要锯割的硅块（13），

-使锯线区（6）与要锯割的硅块（13）接触，

-使锯线（2）在进给方向（20）上移动，

-其中，所述锯线（2）进行完全或局部的、具有给定范围的振幅的振动。

16.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，所述振动的振幅在垂直于锯线（2）进给方向（20）的方向上位于0.5mm至3mm的范围内。