[发明专利]一种二氧化钛基选择吸收薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种二氧化钛基选择吸收薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1) 将基板清洗干净；

2) 将钛酸四丁酯和添加剂搅拌混合，添加剂与钛酸四丁酯摩尔比为0.2～1.0，得到溶液A；所述的添加剂为乙酰丙酮或二甲基甲酰胺；

将催化剂、水、以及碳源添加物放入乙醇中，搅拌混合，得到B溶液；催化剂与钛酸四丁酯的摩尔比为0.05～1.0，水与钛酸四丁酯的摩尔比为2.0～10，碳源添加物与钛酸四丁酯质量比为0.5～2.0；所述的催化剂为乙酸、水杨酸或氨水；碳源添加物为分子量2000的聚乙二醇或K30标准的聚乙烯吡咯酮；

3) 将步骤2)的B溶液逐滴加入A溶液中，搅拌混合均匀，以乙醇为溶剂配置钛酸四丁酯浓度为0.01mol/L～0.5mol/L的溶胶；

4) 将步骤3)得到的溶胶在室温下陈化12h～100h；

5) 利用旋涂仪将凝胶旋涂在步骤1)的基板上，干燥，挥发除去乙醇，得到干膜；

6) 将步骤5)得到的干膜进行热处理，热处理温度400℃～700℃，真空度不低于10^-3Pa，保温时间为30min～120min。

2.根据权利要求1所述的二氧化钛基选择吸收薄膜的制备方法，其特征是所述的基板是玻璃载玻片、石英玻璃或硅片。