[发明专利]刻划装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过使金刚石笔(diamond point)相对于脆性材料基板相对移动而在脆性材料基板上形成划线的刻划装置。

背景技术

以往已知有利用刀部由金刚石等形成的金刚石笔或金刚石轮在玻璃基板上形成划线的技术(例如专利文献1)。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-085791号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

在通过将金刚石笔以特定压力抵压于玻璃基板而在玻璃基板上形成划线的情况下，在玻璃基板与实际上抵压于该玻璃基板的部位即金刚石笔的刀部之间产生摩擦热。该摩擦热成为引起刀部的氧化、进而使刀部劣化、使刻划性能降低等缩短金刚石笔的寿命的主要原因。

本发明是鉴于以上课题而完成的，其目的在于提供一种与以往相比进一步实现了金刚石笔的长寿命化的刻划装置。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述课题，技术内容1的发明的特征在于：在脆性材料基板上形成划线，且包括：金刚石笔，在前端具有包括金刚石含有物的刀部；保持机构，一面保持所述金刚石笔一面使其移动；及保持单元，保持所述脆性材料基板；且通过一面使所述刀部接触保持在所述保持单元的所述脆性材料基板的表面，一面利用所述保持机构使所述金刚石笔移动，可在所述表面形成划线；该刻划装置还包括环境调整机构，该环境调整机构通过至少在形成所述划线的期间，对所述刀部存在的被供给空间供给惰性气体，而使所述被供给空间成为低氧状态。

技术内容2的发明是如技术内容1所述的刻划装置，其特征在于：所述环境调整机构是以从利用供给管而与惰性气体供给源连接的喷嘴对所述被供给空间供给所述惰性气体的方式构成，并且在所述供给管的中途设着冷却所述惰性气体的气体冷却机构，且通过至少在形成所述划线的期间，对所述刀部存在的被供给空间供给经所述气体冷却机构冷却的惰性气体，而使所述被供给空间成为低温且低氧状态。

技术内容3的发明是如技术内容1或2所述的刻划装置，其特征在于：所述环境调整机构还包括外罩，该外罩当利用所述金刚石笔形成划线时，将所述金刚石笔收纳在内部；且在所述外罩的内部设置着所述喷嘴，将所述外罩与所述脆性材料基板之间的空间作为所述被供给空间，且从所述喷嘴供给所述惰性气体。

技术内容4的发明是如技术内容1所述的刻划装置，其特征在于：所述环境调整机构是以从利用供给管而与惰性气体供给源连接的喷嘴对所述刀部喷射惰性气体的方式构成，并且在所述供给管的中途设着冷却所述惰性气体的气体冷却机构，且至少在形成所述划线的期间，将经所述气体冷却机构冷却的惰性气体作为所述冷却气体，对所述刀部进行喷射。

技术内容5的发明是如技术内容4所述的刻划装置，其特征在于：所述环境调整机构还包括外罩，该外罩当利用所述金刚石笔形成划线时，将所述金刚石笔收纳在内部，且在所述外罩的内部安装着所述喷嘴，将所述外罩与所述脆性材料基板之间的空间作为所述被供给空间，且从所述喷嘴供给所述冷却气体。

技术内容6的发明是如技术内容1、2或4中的任一者所述的刻划装置，其特征在于：所述惰性气体为氮气。

[发明的效果]

根据技术内容1至技术内容6的发明，因在刀部与脆性材料基板之间产生的摩擦热而引起的刀部的氧化较佳地得到抑制。由此，能实现金刚石笔的长寿命化。

尤其是，根据技术内容1至技术内容3的发明，通过对金刚石笔的刀部所存在的被供给空间供给惰性气体，而使刀部的周围成为低氧环境。由此，因在刀部与脆性材料基板之间产生的摩擦热而引起的刀部的氧化较佳地得到抑制。由此，能实现金刚石笔的长寿命化。

尤其是，根据技术内容2的发明，通过对金刚石笔的刀部所存在的被供给空间供给低温的惰性气体，而使刀部的周围成为低温且低氧环境。由此，因在刀部与脆性材料基板之间产生的摩擦热而引起的刀部的氧化更佳地得到抑制。

尤其是，根据技术内容4及技术内容5的发明，通过对金刚石笔的刀部喷射冷却气体，使得因在刀部与脆性材料基板之间产生的摩擦热而引起的刀部的氧化较佳地得到抑制。由此，能实现金刚石笔的长寿命化。

尤其是，根据技术内容3及技术内容5的发明，因环境调整机构包括外罩，故能将供给有惰性气体或冷却气体的空间隔成被供给空间。由此，可高效地使金刚石笔的附近的环境成为低氧状态或低温状态。

附图说明

图1是表示本实施方式的刻划装置1的整体构成的前视图。

图2是表示本实施方式的刻划装置1的整体构成的侧视图。