[发明专利]刻划装置

权利要求书

1.一种刻划装置，其特征在于：在脆性材料基板上形成划线，且包括：

金刚石笔，在前端具有包括金刚石含有物的刀部；

保持机构，一面保持所述金刚石笔一面使其移动；及

保持单元，保持所述脆性材料基板；且

通过一面使所述刀部接触保持在所述保持单元的所述脆性材料基板的表面，一面利用所述保持机构使所述金刚石笔移动，可在所述表面形成划线；

该刻划装置还包括环境调整机构，该环境调整机构通过至少在形成所述划线的期间，对所述刀部存在的被供给空间供给惰性气体，而使所述被供给空间成为低氧状态。

2.根据权利要求1所述的刻划装置，其特征在于：

所述环境调整机构是以从利用供给管而与惰性气体供给源连接的喷嘴对所述被供给空间供给所述惰性气体的方式构成，并且

在所述供给管的中途设着冷却所述惰性气体的气体冷却机构，且

通过至少在形成所述划线的期间，对所述刀部存在的被供给空间供给经所述气体冷却机构冷却的惰性气体，而使所述被供给空间成为低温且低氧状态。

3.根据权利要求1或2所述的刻划装置，其特征在于：

所述环境调整机构还包括外罩，该外罩当利用所述金刚石笔形成划线时，将所述金刚石笔收纳在内部；且

在所述外罩的内部设置着所述喷嘴，

将所述外罩与所述脆性材料基板之间的空间作为所述被供给空间，且从所述喷嘴供给所述惰性气体。

4.根据权利要求1所述的刻划装置，其特征在于：

所述环境调整机构是以从利用供给管而与惰性气体供给源连接的喷嘴对所述刀部喷射惰性气体的方式构成，并且

在所述供给管的中途设着冷却所述惰性气体的气体冷却机构，且

至少在形成所述划线的期间，将经所述气体冷却机构冷却的惰性气体作为所述冷却气体，对所述刀部进行喷射。

5.根据权利要求4所述的刻划装置，其特征在于：

所述环境调整机构还包括外罩，该外罩当利用所述金刚石笔形成划线时，将所述金刚石笔收纳在内部，且

在所述外罩的内部安装着所述喷嘴，

将所述外罩与所述脆性材料基板之间的空间作为所述被供给空间，且从所述喷嘴供给所述冷却气体。

6.根据权利要求1、2或4中的任一项所述的刻划装置，其特征在于：

所述惰性气体为氮气。