[发明专利]压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

权利要求书

1.一种压电振动片的制造方法，其中压电振动片具备：夹着中心轴而互相平行地配置的一对振动臂部；和在该一对振动臂部的长度方向上将基端部一体地悬臂支撑的基部，所述制造方法的特征在于：

具备外形形成工序，该工序中对压电圆片进行蚀刻加工，从该压电圆片形成所述压电振动片的外形形状，

所述外形形成工序具备：

掩模图案形成工序，在压电圆片的两主面上形成蚀刻保护膜，利用光刻技术从该蚀刻保护膜形成与所述压电振动片的外形形状对应的掩模图案；以及

蚀刻工序，以所述掩模图案为掩模，从两主面侧对所述压电圆片进行湿蚀刻的蚀刻加工，

在进行所述掩模图案形成工序时，对所述掩模图案中用于形成位于所述一对振动臂部的基端部间的股部的股部对应部分，形成沿着所述一对振动臂部的长度方向向所述基部侧延伸的狭缝状的切口部。

2.根据权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：

所述切口部在切口长度的整个部分中具有恒定的切口宽度。

3.根据权利要求1或2所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：

所述切口部沿着所述中心轴而形成。

4.一种压电振动片，其特征在于：用权利要求1所述的压电振动片的制造方法来制造。

5.一种压电振动器，其特征在于，具备：

权利要求4所述的压电振动片；以及

封装件，该封装件具有互相接合的基底基板和盖基板，在两基板之间形成的空腔内收纳所述压电振动片。

6.一种振荡器，其特征在于：权利要求5所述的压电振动器，作为振子与集成电路电连接。

7.一种电子设备，其特征在于：权利要求5所述的压电振动器与计时部电连接。

8.一种电波钟，其特征在于：权利要求5所述的压电振动器与滤波部电连接。