[发明专利]制备结构化开放网络抛光垫的方法

权利要求书

1.一种制备层状开放网络抛光垫的方法，所述抛光垫用于对磁性基材、半导体基材和光学基材中的至少一种进行抛光，该方法包括：

a)提供可光致固化聚合物的第一和第二聚合物板或膜，所述第一和第二聚合物板或膜具有厚度；

b)使得第一和第二聚合物板受能源作用，以在所述第一和第二聚合物板中产生作用图案，所述作用图案具有受能源作用的拉长的部分，曝光时间足以固化可光致固化聚合物，不足以使得相邻拉长部分固化在一起；

c)从受作用的第一和第二聚合物板去除聚合物，以形成通过第一和第二聚合物板的拉长的通道，该拉长的通道的通道图案对应于作用图案，拉长的通道延伸通过第一和第二聚合物的厚度；

d)使得第一和第二聚合物板附着以形成抛光垫，第一和第二聚合物板的图案交叉，其中第一聚合物板支撑第二聚合物板，而来自第一和第二聚合物板的拉长的通道在平行平面内连接，以形成层状开放网络抛光垫，其中一个聚合物板形成抛光表面；以及

e)对层状开放网络抛光垫进行固化，以使得层状开放网络抛光垫与第一和第二板固定，其具有足够的硬度，以减小弯垂并维持拉长通道和聚合物板的平行平面之间的正交关系。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述相邻平行平面的拉长的通道以正交关系连接。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述使得第一和第二板受能源作用包括通过光掩模递送或者以直接的图案递送的准直化光，以形成具有曲线或线型拉长的通道的作用图案。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述作用形成作用图案，所述作用图案具有平行通道。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法包括在附着第一和第二聚合物板之前使所述第一和第二聚合物板部分固化的步骤。

6.一种制备层状开放网络抛光垫的方法，所述抛光垫用于对磁性基材、半导体基材和光学基材中的至少一种进行抛光，该方法包括：

a)提供可光致固化聚合物的第一和第二聚合物板或膜，所述第一和第二聚合物板或膜具有厚度；

b)使得第一和第二聚合物板受能源作用，以在所述第一和第二聚合物板中产生作用图案，所述作用图案具有受能源作用的拉长的部分，曝光时间足以交联可光致固化聚合物，不足以使得相邻拉长部分交联在一起；

c)用水溶液从受作用的第一和第二聚合物板去除聚合物，以形成通过第一和第二聚合物板的拉长的通道，该拉长的通道的通道图案对应于作用图案，拉长的通道延伸通过第一和第二聚合物的厚度；

d)使得第一和第二板干燥，以去除水溶液并对所述第一和第二板提供部分固化；

e)使得第一和第二聚合物板附着，以形成抛光垫，第一和第二聚合物板的图案交叉，其中第一聚合物板支撑第二聚合物板，而来自第一和第二聚合物板的拉长的通道在平行平面内连接，以形成层状开放网络抛光垫，其中一个聚合物板形成抛光表面；以及

f)对层状开放网络抛光垫进行固化，以使得层状开放网络抛光垫与第一和第二板固定，其具有足够的硬度，以减小弯垂并维持拉长通道和聚合物板的平行平面之间的正交关系，该正交关系是在80度和100度之间的角度。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述相邻平行平面的拉长的通道以正交关系连接。

8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述使得第一和第二板受能源作用包括通过光掩模递送或者以直接的图案递送的准直化光，以形成具有曲线或线型拉长的通道的接触图案。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述作用形成作用图案，所述作用图案具有平行通道。

10.如权利要求6所述的方法，其特征在于，该方法包括在附着第一和第二聚合物板之前使所述第一和第二聚合物板部分固化的步骤。