[发明专利]探针及连接夹具

说明书

技术领域

本发明涉及探针及连接夹具，该探针在用于与检查对象上所设置的连接点进行电连接的连接夹具中使用。

背景技术

这种连接夹具例如被称为检查夹具或检查卡并具有多个探针，经由其探针对检查对象上预先设定的连接点供给来自检查装置等的电流或电信号，并且从连接点检测出电信号，由此来检测出连接点间的电气特性，进行导通检查或漏电检查的动作试验等。

作为其检查对象，例如有印刷配线基板、挠性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板，或者半导体封装用的封装基板或薄膜载体等各种基板，或者半导体晶片、半导体芯片或CSP（Chip size package：芯片尺寸封装）等半导体装置（LSI（Large Scale Integration：大规模集成电路）等）。

作为这种以往的探针，有专利文献1中记载的探针。该专利文献1所记载的探针是由导电性的极细筒状体构成探针，并且在该筒状体的周壁面上形成有沿轴向伸缩的弹簧部。因此，该探针因其前端部抵接于检查对象的连接点时从连接点受到的反作用力（负载）而使弹簧部沿轴向被压缩。此外，在将该探针安装于连接夹具时，以弹簧部沿轴向被压缩的状态进行安装，因而因弹簧部的弹力使探针的后端抵靠于电极部，使探针与电极部的电接触状态（例如接触电阻抗等）变稳定。

［专利文献1］日本特开2011-164028号公报

然而，在上述专利文献1记载的探针中存在以下问题点：难以调节随着安装于连接夹具时的预压而产生的探针的反作用力，反作用力容易增大。在连接夹具上安装有几百根至几万根探针，因此，如果预压的反作用力过大，则会有产生克服反作用力来固定保持探针前端侧的探针保持部件因预压的反作用力而变形等不良情况。

另外，在这种探针中，弹簧部的弹簧特性（例如弹簧常数等）有以下倾向：探针抵接于检查对象的连接点时的按压力与弹簧部的轴向压缩尺寸之间的关系等优先，并设定成比最适合预压的弹簧常数相比更大的弹簧常数。

此外，为了减小由探针的预压所产生的反作用力，可以考虑将用于对探针施加预压的探针的轴向压缩尺寸减小。但是，在这种结构中，因探针长度的偏差的影响，各探针用于预压的压缩尺寸产生偏差，导致各探针的预压产生偏差。

此外，近年来，LSI的形成工序得到改善，推进了LSI的微细化，并推动了LSI检查用垫片的间距狭窄化或多数化的发展，由此检查对象的基板变得更加复杂化、微细化，基板上所设定的对象点形成得更窄更小，因此探针形成得更细。因此，即使是多个微细探针，也需要可靠地实现前端部与连接点的电连接。

发明内容

因此，本发明应解决的问题在于提供一种探针及连接夹具，其不会损坏探针抵接于检查对象的连接点时的弹簧特性，并能够有效地抑制安装在连接夹具时的探针的预压的反作用力。

为了解决上述问题，本发明涉及的探针的第一方式是如下一种探针，其在用于与检查对象上所设置的连接点进行电连接的连接夹具中使用，其特征在于，包括：外侧导体，其具有导电性并具有大致筒状的形态；内侧导体，其具有导电性，并且以使其前端部从所述外侧导体的前端侧突出且其后端部不从所述外侧导体的后端侧突出的方式被插入到所述外侧导体内，所述内侧导体与所述外侧导体电连接，且其前端部抵接于所述检查对象的所述连接点来进行电连接；以及固定部，其固定所述外侧导体与所述内侧导体，在所述外侧导体的周壁上沿轴向隔开间隔来设有沿所述探针的轴向伸缩的第一弹簧部及第二弹簧部，且使得所述第一弹簧部位于所述第二弹簧部的前端侧，所述固定部固定位于所述外侧导体的所述第一弹簧部与所述第二弹簧部之间的中间部分与所述内侧导体。

此外，本发明涉及的探针的第二方式，在上述第一方式所述的探针的基础上，所述外侧导体的所述第一弹簧部的弹簧常数小于所述第二弹簧部的弹簧常数。

此外，本发明涉及的探针的第三方式，在上述第二方式所述的探针的基础上，所述外侧导体的所述第一弹簧部及所述第二弹簧部具有在所述外侧导体的所述周壁上所形成的大致螺旋状的弹簧，自由状态下的所述第一弹簧部的所述弹簧的相对于所述轴向的每一圈的螺距被设定成小于所述第二弹簧部的所述弹簧的相对于所述轴向的每一圈的螺距。

此外，本发明涉及的探针的第四方式，在上述第二方式所述的探针的基础上，所述外侧导体的所述第一弹簧部的所述弹簧的沿着与该弹簧的延伸方向垂直的方向的宽度小于所述第二弹簧部的所述弹簧的沿着与该弹簧的延伸方向垂直的方向的宽度。