[发明专利]探针及连接夹具

权利要求书

1.一种探针，其在用于与检查对象上所设置的连接点进行电连接的连接夹具中使用，其特征在于，包括：

外侧导体，其具有导电性并具有大致筒状的形态；

内侧导体，其具有导电性，并且以使其前端部从所述外侧导体的前端侧突出且其后端部不从所述外侧导体的后端侧突出的方式被插入到所述外侧导体内，所述内侧导体与所述外侧导体电连接，所述内侧导体的前端部抵接于所述检查对象的所述连接点来进行电连接；以及

固定部，其固定所述外侧导体与所述内侧导体，

在所述外侧导体的周壁上沿轴向隔开间隔来设有沿所述探针的轴向伸缩的第一弹簧部及第二弹簧部，且使得所述第一弹簧部位于所述第二弹簧部的前端侧，

所述固定部固定位于所述外侧导体的所述第一弹簧部与所述第二弹簧部之间的中间部分与所述内侧导体。

2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述外侧导体的所述第一弹簧部的弹簧常数小于所述第二弹簧部的弹簧常数。

3.根据权利要求2所述的探针，其特征在于，

所述外侧导体的所述第一弹簧部及所述第二弹簧部具有在所述外侧导体的所述周壁上所形成的大致螺旋状的弹簧，

在自由状态下，所述第一弹簧部的所述弹簧的相对于所述轴向的每一圈的螺距被设定成小于所述第二弹簧部的所述弹簧的相对于所述轴向的每一圈的螺距。

4.根据权利要求2所述的探针，其特征在于，

所述外侧导体的所述第一弹簧部的所述弹簧的沿着与该弹簧的延伸方向垂直的方向的宽度小于所述第二弹簧部的所述弹簧的沿着与该弹簧的延伸方向垂直的方向的宽度。

5.根据权利要求1项所述的探针，其特征在于，

通过所述内侧导体的所述前端部抵接于所述检查对象的所述连接点时的负载，所述内侧导体被推入到后端侧而使所述外侧导体的所述第二弹簧部沿所述轴向被压缩，与此相伴，所述外侧导体的所述中间部分与所述内侧导体一体地绕所述探针的轴旋转。

6.一种连接夹具，其使用了权利要求1～5中任意一项所述的探针，其特征在于，包括：

探针，其为权利要求1～5中任意一项所述的探针；

电极部，其与所述探针的所述外侧导体的后端部抵接来进行电连接；

第一探针保持部件，其设有第一贯通孔，该第一贯通孔中所述探针的所述内侧导体的前端侧的部分以向所述检查对象侧突出的方式贯穿而被保持，并且在所述第一贯通孔的内表面或与所述检查对象相反的一侧的开口部上设有供所述探针的所述外侧导体的前端侧端部抵接的抵接部，并且在所述第一探针保持部件与所述电极部之间将所述外侧导体保持于沿所述轴向压缩的状态；

第二探针保持部件，其设有第二贯通孔，该第二贯通孔中所述探针的后端侧的部分贯穿而被保持；以及

电极保持部件，其保持所述电极部。

7.一种探针，其在用于与检查对象上所设置的连接点进行电连接的连接夹具中使用，其特征在于，包括：

外侧导体，其具有导电性并具有大致筒状的形态；

内侧导体，其具有导电性并且具有大致筒状的形态，所述内侧导体以使其前端部及后端部从所述外侧导体的前端侧及后端侧突出的方式被插入到所述外侧导体内，并且所述内侧导体与所述外侧导体电连接，所述内侧导体的前端部抵接于所述检查对象的所述连接点来进行电连接；以及

固定部，其固定所述外侧导体与所述内侧导体，

在所述外侧导体的周壁上位于比所述固定部靠前端侧的部分上设有沿所述探针的轴向伸缩的第一弹簧部，

在所述内侧导体的周壁上位于所述固定部的前端侧的部分及位于后端侧的部分中的至少一侧上设有具有大于所述第一弹簧部的弹簧常数且沿所述轴向伸缩的第二弹簧部。