[发明专利]防断电保护的硅片清洗机

说明书

技术领域

本发明涉及半导体清洗技术领域，特别涉及一种防断电保护的硅片清洗机。

背景技术

在半导体行业，需要对硅片后道工艺铜互连阶段后，多孔性介质材料进行超精细清洗，Chuck（卡盘）夹持的硅片高速旋转进行清洗时在工艺腔室内完成，清洗包括药液漂洗、超纯水冲洗和N₂甩干等工艺。在清洗的过程为了实现对化学药液的回收利用，工艺腔室采用分层设计，Up/down单元带动Chuck至各工艺位置，由伺服电机带动Chuck做高速旋转运动，通过离心力将化学药液甩到专用的回收槽里面。为了防止化学液向下发生滴漏，需要在工艺腔室底背部向上吹N₂，从而在硅片底部形成一层自下而上的气体保护膜。一般情况下，如果设备突然发生断电，化学液将会残留在硅片上面，此时如果硅片底部N₂保护气发生中断，液体将可能通过硅片边缘滴漏到工艺腔室里面，严重污染清洗环境的清洁度。整个设备如果采用UPS断电保护，成本较高。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种防断电保护的硅片清洗机，对N₂管路进行双通道设计，从而保证整个清洗过程N₂通道始终处于畅通状态。

（二）技术方案

本发明提供一种防断电保护的硅片清洗机，包括：工艺腔室和位于工艺腔室底部的N₂管路，所述N₂管路包括：常开N₂管路和常闭N₂管路，所述常开N₂管路与常闭N₂管路并联设置，所述常开N₂管路上设有常开波纹密封阀，所述常闭N₂管路上设有常闭波纹密封阀。

其中，当所述常开波纹密封阀打开时，所述闭波纹密封阀关闭；当所述常开波纹密封阀关闭时，所述闭波纹密封阀打开。

其中，所述常开波纹密封阀和常闭波纹密封阀通过电磁阀岛气动控制。

其中，防断电保护的硅片清洗机还包括：位于常闭波纹密封阀前端管路上的压力针阀。

其中，防断电保护的硅片清洗机还包括：位于常闭波纹密封阀后端管路上的单向阀。

其中，防断电保护的硅片清洗机还包括：位于常开波纹密封阀后端管路上的超声波流量计和过滤器，所述超声波流量计位于所述过滤器的前端管路上。

（三）有益效果

本发明提供的防断电保护的硅片清洗机，采用双通道互锁并联设计，当设备主电源发生断电时候，两个互锁的波纹密封阀通过相反控制动作，使N₂通路不会因为断电而发生中断，保证清洗机环境清洁。

附图说明

图1为本发明防断电保护的硅片清洗机管路结构示意图；

图2为本发明防断电保护的硅片清洗机的工艺腔室结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1所示，本发明提供一种防断电保护的硅片清洗机，包括：工艺腔室8和位于工艺腔室底部的N₂管路，所述N₂管路包括：常开N₂管路9和常闭N₂管路10，所述常开N₂管路9与常闭N₂管路10并联设置，所述常开N₂管路9上设有常开波纹密封阀4，所述常闭N₂管路10上设有常闭波纹密封阀3。当所述常开波纹密封阀4打开时，所述闭波纹密封阀3关闭，当所述常开波纹密封阀4关闭时，所述闭波纹密封阀3打开。所述常开波纹密封阀4和常闭波纹密封阀3通过电磁阀岛气动控制。

防断电保护的硅片清洗机还包括：位于常闭波纹密封阀3前端管路上的压力针阀2、位于常闭波纹密封阀3后端管路上的单向阀7以及位于常开波纹密封阀4后端管路上的超声波流量计5和过滤器6，所述超声波流量计5位于所述过滤器6的前端管路上。

工作原理：