[发明专利]一种离子源温控加热装置有效

专利信息
申请号: 201210348043.X 申请日: 2012-09-18
公开(公告)号: CN102903596A 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 唐飞;师玉鹏;王晓浩;再帕尔·阿不力孜;贺玖明 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10;H01J49/04;G05D23/30
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 邸更岩
地址: 100084 北京市海淀区1*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 离子源 温控 加热 装置
【权利要求书】:

1.一种离子源温控加热装置,其特征在于:该温控加热装置包括离子输入管(3)、第一绝缘管(7)、离子输出管(4)、第二绝缘管(8)、载气通入管(5)、前密封挡板(9)、加热腔体(2)、加热电阻(1)、温度探头(6)和后密封挡板(10)以及温度控制器;前密封挡板和后密封挡板分别固定在所述加热腔体上;离子输入管前端口对接离子源,离子输入管末端口对准离子输出管前端口,离子输入管末端口与离子输出管前端口的交汇处留一窄缝(14);第一绝缘管套在离子输入管上,并一起从前密封挡板中伸进加热腔体内;第二绝缘管套在离子输出管上,并一起从后密封挡板中伸进加热腔体内;所述加热电阻(1)位于加热腔体内加热通入的载气,经过加热后的载气在离子输入管末端口与离子输出管前端口的交汇的窄缝处与离子化后的样品气体混合;所述温度探头的末端设置在离子输入管末端口和离子输出管前端口交汇处的窄缝附近,通过信号线与温度控制器相连。

2.根据权利要求1所述的一种离子源温控加热装置,其特征在于:该装置还包括分型板(11),该分型板位于加热腔体(2)内且靠近前密封挡板(9),在分型板上设有中心孔和对称分布的多个小孔;第一绝缘管和离子输入管从分型板中心孔穿过。

3.根据权利要求2所述的一种离子源温控加热装置置,其特征在于:所述载气通入管(5)从前密封挡板伸入加热腔体内,载气通入管末端设置在分型板前面。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种离子源温控加热装置,其特征在于:所述的离子输入管末端口与离子输出管前端口交汇的窄缝的宽度与位置可调。

5.根据权利要求1、2或3所述的一种离子源温控加热装置,其特征在于:所述离子输入管与离子输出管上加直流电压(15)。

6.根据权利要求1所述的一种离子源温控加热装置,其特征在于:所述的加热电阻(1)以螺旋状缠绕在第一绝缘管(7)上。

7.根据权利要求1所述的一种离子源温控加热装置,其特征在于:载气通入管进入加热腔体内的载气为氮气或惰性气体。

8.根据权利要求1所述的一种离子源温控加热装置,其特征在于:前密封挡板和后密封挡板以螺栓螺母固定连接在加热腔体上。

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