[发明专利]一种曲面复眼的制备方法

权利要求书

1.一种曲面仿生复眼的制备方法，具体为：

步骤1在衬底上制备微凹透镜阵列；

步骤2在凹透镜阵列表面沉积聚二甲基硅氧烷，固化处理后将其与凹透镜阵列分离得到聚二甲基硅氧烷的微凸透镜阵列；

步骤3将前烘过的SU-8光刻胶填充在预先定制的曲面基底的下表面，待SU-8冷却固化后，将聚二甲基硅氧烷微透凸镜阵列固定在曲面基底的上表面；

步骤4对曲面基底上表面进行紫外曝光，再对SU-8胶后烘得到自对准的波导阵列。

2.根据权利要求1所述的曲面仿生复眼的制备方法，其特征在于，所述步骤1采用干法刻蚀、湿法腐蚀、铸模法中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的曲面仿生复眼的制备方法，其特征在于，所述步骤1的衬底采用硅、石英玻璃、金属材料中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的曲面仿生复眼的制备方法，其特征在于，所述曲面基底可采用采用光学玻璃或者高分子聚合物材料制作，基底材料的厚度与聚二甲基硅氧烷薄膜的厚度之和应小于聚二甲基硅氧烷薄膜上微透镜的焦距。

5.按照权利要求1至4任意一种方法制备得到的曲面仿生复眼。