[发明专利]Al2O3陶瓷基底上TiO2纳米管有序阵列的制备有效
| 申请号： | 201210337502.4 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN102899701A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 张小秋;张柯;李文英;尹桂林;姜来新;余震;何丹农 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/26 | 分类号： | C25D11/26;C23C14/35;C23C14/18;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | al sub 陶瓷 基底 tio 纳米 有序 阵列 制备 | ||
1.一种Al2O3陶瓷基底上TiO2纳米管有序阵列的制备方法，其特征在于按以下步骤进行：
（1）Al2O3陶瓷片清洗：依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗；
（2）溅射钛膜：采用直流溅射钛靶，溅射气体为纯氩气；
（3）配制阳极氧化溶液；
（4）对步骤（1）中所得Al2O3陶瓷片在步骤（3）配制的溶液中进行阳极氧化，制备出高度有序的TiO2纳米管阵列。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述（2）中，对磁控溅射腔抽真空，使其真空度小于5.0×10-4Pa。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述（2）中，调节Al2O3陶瓷片与靶材的距离为10～20cm，选用99.99%的纯钛靶作为Ti薄膜沉积的溅射靶。
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述（2）中，溅射功率为100-200W，溅射时间为1-2h。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述（2）中，Al2O3陶瓷片的基底温度控制在25-400℃。
6.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述（2）中，纯氩气的纯度为99.99%以上，流量为20-80sccm，气体压强为0.3-0.8Pa。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述（3）中，所配的溶液为甘油占体积分数的90%，去离子水占体积分数的10%，NH4F占溶液的质量分数的0.1-1%。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述（4）中，阳极氧化的电压控制在10-30V，时间控制为1-2h。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述（1）中，丙酮、酒精以及去离子水超声的时间各为10min。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学;上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司，未经上海交通大学;上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210337502.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：刀块、刀具以及具有该刀具的包装机机头
- 下一篇：一种可回油包装机
- 一种Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-Yb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>改性的La<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>-(Zr<sub>0.92</sub>Y<sub>0.08</sub>)O<sub>1.96</sub>复相热障涂层材料
- 无铅[(Na<sub>0.57</sub>K<sub>0.43</sub>)<sub>0.94</sub>Li<sub>0.06</sub>][(Nb<sub>0.94</sub>Sb<sub>0.06</sub>)<sub>0.95</sub>Ta<sub>0.05</sub>]O<sub>3</sub>纳米管及其制备方法
- 磁性材料HN(C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>)<sub>3</sub>·[Co<sub>4</sub>Na<sub>3</sub>(heb)<sub>6</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>6</sub>]及合成方法
- 磁性材料[Co<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(hmb)<sub>4</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub>]·(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub> 及合成方法
- 一种Bi<sub>0.90</sub>Er<sub>0.10</sub>Fe<sub>0.96</sub>Co<sub>0.02</sub>Mn<sub>0.02</sub>O<sub>3</sub>/Mn<sub>1-x</sub>Co<sub>x</sub>Fe<sub>2</sub>O<sub>4</sub> 复合膜及其制备方法
- Bi<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>-WO<sub>3</sub>系玻璃
- 荧光材料[Cu<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(mtyp)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>(H<sub>2</sub>O)<sub>3</sub>]<sub>n</sub>及合成方法
- 一种(Y<sub>1</sub>-<sub>x</sub>Ln<sub>x</sub>)<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>薄膜的直接制备方法
- 荧光材料(CH<sub>2</sub>NH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>ZnI<sub>4</sub>
- Li<sub>1.2</sub>Ni<sub>0.13</sub>Co<sub>0.13</sub>Mn<sub>0.54</sub>O<sub>2</sub>/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>复合材料的制备方法
