[发明专利]臭氧气体浓缩方法

权利要求书

1.一种臭氧气体浓缩方法，

并列配置向内部填充非冷却状态的吸附剂（1）而成的至少两个吸附筒（2），使容置在各吸附筒（2）内的非冷却状态的吸附剂（1）在臭氧及氧气混合气体中选择性地吸附臭氧气体，并且在进行臭氧气体脱离操作时，通过对各吸附筒（2）进行减压处理来使臭氧气体从吸附剂（1）脱离，由此浓缩提纯臭氧气体，另外，控制上述至少两个吸附筒（2），使至少两个吸附筒（2）分别交替反复进行吸附工序和脱离工序，并且在一个吸附筒（2）处于吸附工序时使另外的吸附筒（2）处于脱离工序，

该臭氧气体浓缩方法的特征在于，

在从臭氧气体的吸附工序向脱离工序切换时经由压力均等化工序，在压力均等化工序中，使结束了吸附工序的吸附筒（2）和结束了脱离工序的吸附筒（2）相连通，使得吸附筒的内部的压力均等化，另外在进行了压力均等化工序之后，使所述结束了吸附工序的吸附筒（2）与减压发生单元（11）相连通，来使臭氧气体从吸附剂（1）脱离。

2.如权利要求1所述的臭氧气体浓缩方法，其特征在于，控制压力均等化工序的结束时刻，使得压力均等化工序在高压侧吸附筒的内压和低压侧吸附筒的内压之间的压差达到压力均等化工序的开始时的压差的40%以下的压力的阶段结束。

3.如权利要求1或2所述的臭氧气体浓缩方法，其特征在于，在压力均等化工序即将开始之前，关闭所述结束了吸附工序的吸附筒的臭氧气体入口侧的阀（7）并开启出口侧的阀（18），来降低吸附筒的内压。

4.一种臭氧气体浓缩装置，其特征在于，

并列配置有向内部填充吸附剂（1）而成的至少两个吸附筒（2），在各吸附筒（2）上分别安装有气体导入阀（7）、气体导出阀（10）及气体排出阀（18），所述气体导入阀（7）与安装有臭氧发生器（8）的气体导入路（4）相连接，气体导出阀（10）与安装有减压发生单元（11）的浓缩臭氧气体导出路（5）相连接，气体排出阀（18）与安装有臭氧分解器（19）的气体排出路（6）相连接，

控制安装在各吸附筒（2）上的气体导入阀（7）和气体排出阀（18）以能够同步进行开闭动作，并且使安装在同一吸附筒（2）上的气体导入阀（7）和气体导出阀（10）以择一的方式进行开启动作，

对各阀（7、10、18）进行切换控制，以使各吸附筒（2）交替反复进行与气体导入路（4）相连通的吸附工序和与浓缩臭氧气体导出路（5）相连通的脱离工序，并且使至少两个吸附筒（2）中的一个吸附筒处于吸附工序而另外的吸附筒处于脱离工序，

在各阀（7、10、18）的吸附筒（2）侧配置有使吸附筒（2）的内部彼此连通的至少一个系统的连通路（21），并且在该连通路（21）上安装有流路开闭阀（20），对该流路开闭阀（20）进行开闭控制，使得该流路开闭阀（20）与所述气体导入阀（7）及气体导出阀（10）的开闭动作同步。