[发明专利]一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器无效
| 申请号： | 201210309221.8 | 申请日： | 2012-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN103628129A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈昌林;李德建;陈锐;陈剑春;付雁清;薛东;李福龙 | 申请（专利权）人： | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 另婧 |
| 地址： | 200062 上海市普陀区洲*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 法制 单晶硅 使用 石墨 加热器 | ||
1.一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器，包括形成加热系统的加热器本体（1）、设置在加热器本体（1）侧壁的侧壁发热体（2）、以及设置在加热器本体（1）底部用于支撑石墨坩埚的底部支撑脚（3），其特征在于：所述的侧壁发热体（2）向下和向内延伸形成弧形的底部发热体（4）。
2.根据权利要求1所述的石墨加热器，其特征在于，所述的底部支撑脚（3）支撑石墨坩埚的上表面高于底部发热体（4）的末端所在的水平面。
3.根据权利要求2所述的石墨加热器，其特征在于，所述的底部发热体（4）向内延伸的距离小于底部支撑脚（3）向内延伸的距离。
4.根据权利要求3所述的石墨加热器，其特征在于，所述的底部发热体（4）的弧形宽度沿径向方向由外向里逐渐减小。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的石墨加热器，其特征在于，所述的底部发热体（4）与侧壁发热体（2）形成弧形对接。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的石墨加热器，其特征在于，所述的加热器本体（1）呈圆筒状。
7.根据权利要求6所述的石墨加热器，其特征在于，在加热器本体（1）的圆筒壁的轴向方向上均匀设有布置侧壁发热体（2）的开槽（5）。
8.根据权利要求7所述的石墨加热器，其特征在于，所述的侧壁发热体（2）内充填有细条状石墨。
9.根据权利要求8所述的石墨加热器，其特征在于，所述的底部发热体（4）内充填有石墨。
10.根据权利要求9所述的石墨加热器，其特征在于，所述的底部发热体（4）与侧壁发热体（2）内充填的石墨的厚度一致。
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